发明授权
- 专利标题: 用于调整先进先出的缓冲系统
- 专利标题(英): Buffer system for adjusting first-in first-out
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申请号: CN200710107577.2申请日: 2007-05-21
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公开(公告)号: CN100595900C公开(公告)日: 2010-03-24
- 发明人: 李晟熙 , 李明振
- 申请人: 株式会社细美事
- 申请人地址: 韩国忠清南道天安市业成洞623-5
- 专利权人: 株式会社细美事
- 当前专利权人: 株式会社细美事
- 当前专利权人地址: 韩国忠清南道天安市业成洞623-5
- 代理机构: 北京连和连知识产权代理有限公司
- 代理商 高翔
- 优先权: 10-2006-0057077 2006.06.23 KR
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677
摘要:
本发明提供了一种用于调整先进先出的缓冲系统,具体说是一种暂时存储多个基板并能够调整先进先出的缓冲系统。该缓冲系统包括一个或多个具有轴和安装固定在轴上的辊筒的缓冲层,用以暂时存储或传递基板,使缓冲层上下移动的垂直移动单元,其使得载有待传递基板的缓冲层与驱动单元连接,驱动单元,其使得载有待传递基板的缓冲层的轴旋转,从而传递基板。
公开/授权文献
- CN101093810A 用于调整先进先出的缓冲系统 公开/授权日:2007-12-26
IPC分类: