用于调整先进先出的缓冲系统
摘要:
本发明提供了一种用于调整先进先出的缓冲系统,具体说是一种暂时存储多个基板并能够调整先进先出的缓冲系统。该缓冲系统包括一个或多个具有轴和安装固定在轴上的辊筒的缓冲层,用以暂时存储或传递基板,使缓冲层上下移动的垂直移动单元,其使得载有待传递基板的缓冲层与驱动单元连接,驱动单元,其使得载有待传递基板的缓冲层的轴旋转,从而传递基板。
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