Invention Publication
CN101000842A MEMS开关
失效 - 权利终止
- Patent Title: MEMS开关
- Patent Title (English): MEMS switch
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Application No.: CN200610137596.5Application Date: 2006-10-26
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Publication No.: CN101000842APublication Date: 2007-07-18
- Inventor: 洪荣泽 , 金东均 , 宋寅相 , 李相勋 , 权相旭 , 金钟硕 , 金载兴
- Applicant: 三星电子株式会社
- Applicant Address: 韩国京畿道水原市灵通区梅滩3洞416
- Assignee: 三星电子株式会社
- Current Assignee: 三星电子株式会社
- Current Assignee Address: 韩国京畿道水原市灵通区梅滩3洞416
- Agency: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- Agent 韩明星; 刘奕晴
- Priority: 10-2006-0002643 2006.01.10 KR
- Main IPC: H01H57/00
- IPC: H01H57/00 ; B81B5/00

Abstract:
本发明公开了一种微电子机械系统(MEMS)开关,包括:基底;固定信号线,形成在基底上;可动信号线,与所述固定信号线的上表面和下表面中的一个表面分开;至少一个压电致动器,连接到所述可动信号线的第一端上,以使所述可动信号线与所述固定信号线接触或分开。所述至少一个压电致动器包括:第一电极;压电层,形成在所述第一电极上;第二电极,形成在所述压电层上;连接层,形成在所述第二电极上并与所述可动信号线连接。
Public/Granted literature
- CN101000842B MEMS开关 Public/Granted day:2011-09-07
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