Invention Publication
CN101000842A MEMS开关 失效 - 权利终止

MEMS开关
Abstract:
本发明公开了一种微电子机械系统(MEMS)开关,包括:基底;固定信号线,形成在基底上;可动信号线,与所述固定信号线的上表面和下表面中的一个表面分开;至少一个压电致动器,连接到所述可动信号线的第一端上,以使所述可动信号线与所述固定信号线接触或分开。所述至少一个压电致动器包括:第一电极;压电层,形成在所述第一电极上;第二电极,形成在所述压电层上;连接层,形成在所述第二电极上并与所述可动信号线连接。
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