MEMS开关
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101000842B

    公开(公告)日:2011-09-07

    申请号:CN200610137596.5

    申请日:2006-10-26

    IPC分类号: H01H57/00 B81B5/00

    CPC分类号: B41J2/04581 B41J2/04541

    摘要: 本发明公开了一种微电子机械系统(MEMS)开关,包括:基底;固定信号线,形成在基底上;可动信号线,与所述固定信号线的上表面和下表面中的一个表面分开;至少一个压电致动器,连接到所述可动信号线的第一端上,以使所述可动信号线与所述固定信号线接触或分开。所述至少一个压电致动器包括:第一电极;压电层,形成在所述第一电极上;第二电极,形成在所述压电层上;连接层,形成在所述第二电极上并与所述可动信号线连接。

    MEMS开关
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101000842A

    公开(公告)日:2007-07-18

    申请号:CN200610137596.5

    申请日:2006-10-26

    IPC分类号: H01H57/00 B81B5/00

    CPC分类号: B41J2/04581 B41J2/04541

    摘要: 本发明公开了一种微电子机械系统(MEMS)开关,包括:基底;固定信号线,形成在基底上;可动信号线,与所述固定信号线的上表面和下表面中的一个表面分开;至少一个压电致动器,连接到所述可动信号线的第一端上,以使所述可动信号线与所述固定信号线接触或分开。所述至少一个压电致动器包括:第一电极;压电层,形成在所述第一电极上;第二电极,形成在所述压电层上;连接层,形成在所述第二电极上并与所述可动信号线连接。