发明授权
- 专利标题: 形成金属线的方法及利用该方法制造显示基板的方法
- 专利标题(英): Method of manufacturing metal line and resulting method for manufacturing display substrate
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申请号: CN200710100846.2申请日: 2007-04-20
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公开(公告)号: CN101063755B公开(公告)日: 2011-04-06
- 发明人: 金彰洙 , 金湘甲
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 张波
- 优先权: 36745/06 2006.04.24 KR
- 主分类号: G02F1/13
- IPC分类号: G02F1/13 ; G03F7/00 ; H01L21/00
摘要:
在形成金属线的方法和制造显示基板的方法中,沟道层和金属层连续地形成在基板上。光致抗蚀剂图案形成在布线区域。利用光致抗蚀剂图案蚀刻金属层以形成金属线。移除预定厚度的光致抗蚀剂图案以在金属线上形成残留的光致抗蚀剂图案。利用金属线蚀刻沟道层以形成位于金属线下面的底切。利用残留的光致抗蚀剂图案移除金属线的突起部分。突起部分相对于地突出于底切的形成构造。因此,增加了开口率,防止了余像并提高了显示质量。
公开/授权文献
- CN101063755A 形成金属线的方法及利用该方法制造显示基板的方法 公开/授权日:2007-10-31