发明授权
CN101126627B 光波干涉测定装置及光波干涉测定方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光波干涉测定装置及光波干涉测定方法
- 专利标题(英): Light wave interference detection device and light wave interference detection method
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申请号: CN200710142639.3申请日: 2007-08-20
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公开(公告)号: CN101126627B公开(公告)日: 2010-08-18
- 发明人: 植木伸明
- 申请人: 富士能株式会社
- 申请人地址: 日本国埼玉县
- 专利权人: 富士能株式会社
- 当前专利权人: 富士能株式会社
- 当前专利权人地址: 日本国埼玉县
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李香兰
- 优先权: 2006-223668 2006.08.18 JP
- 主分类号: G01B9/02
- IPC分类号: G01B9/02 ; G01B11/00 ; G01M11/02 ; G01J9/02
摘要:
本发明提供一种光波干涉测定装置及光波干涉测定方法,其中设置:基于来自被检测透镜(1)反射光的第1干涉条纹图像特定被检测透镜(1)的整体中心位置的机构、以被检测透镜(1)和基准球面反射镜(7)的各光轴互相成为平行的方式进行调整的机构、调整被检测透镜(1)和基准球面反射镜(7)的相对位置的机构、根据基于透镜部(2)的透过光的第2干涉条纹图像而调整被检测透镜(1)和基准球面反射镜(7)的相对位置的机构。从而,对于观察不到由来自透镜部表面的反射光产生的光标识的被检测透镜,也可以高精度自动调整该被检测透镜的光轴和基准球面的光轴的偏离,进而能够获得稳定的测定结果。
公开/授权文献
- CN101126627A 光波干涉测定装置及光波干涉测定方法 公开/授权日:2008-02-20