发明公开
CN101130860A 薄膜形成用原料以及薄膜的制造方法
无效 - 撤回
- 专利标题： 薄膜形成用原料以及薄膜的制造方法
- 专利标题（英）： Material for forming film and method for producing film
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申请号： CN200710141711.0申请日： 2007-08-21
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公开(公告)号： CN101130860A公开(公告)日： 2008-02-27
- 发明人: 山田直树 , 芳仲笃也 , 田中伸一
- 申请人： 株式会社艾迪科
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社艾迪科
- 当前专利权人： 株式会社艾迪科
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈建全
- 优先权： 225023/2006 2006.08.22 JP
- 主分类号： C23C16/30
- IPC分类号： C23C16/30 ; C23C16/448
摘要：
本发明提供一种适合制造含有锌的薄膜的原料以及通过使用该原料的化学气相沉积法的薄膜的制造方法。由相对于1000ml不具有羟基的有机溶剂溶解有0.1～1摩尔作为必须成分的双(戊烷－2，4－二酮基)锌无水合物的溶液形成薄膜形成用原料，以及向基体上导入含有将该薄膜形成用原料气化而得到的含有双(戊烷－2，4－二酮基)锌无水合物的蒸汽，并使其分解和/或发生化学反应而在基体上形成含锌原子的薄膜。
IPC分类:
