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公开(公告)号：CN104470892A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201380035400.X
申请日：2013-10-21
申请人： 株式会社艾迪科
IPC分类号： C07C251/08 , C23C16/16 , C23C16/40 , H01L21/28 , H01L21/285 , C07F1/08 , C07F15/04 , C07F15/06
CPC分类号： C07F15/065 , C07C251/04 , C07C251/08 , C07F1/08 , C07F7/28 , C07F15/045 , C23C16/18 , C23C16/406 , C23C16/408
摘要： 本发明提供一种具有适合作为CVD法中的薄膜形成用原料的物性的金属醇盐化合物，特别是具有适合作为金属铜薄膜形成用原料的物性的金属醇盐化合物。具体地说，提供一种由下述通式(I)表示的金属醇盐化合物以及含有该金属醇盐化合物的薄膜形成用原料。通式(I)中，R1表示甲基或乙基，R2表示氢原子或甲基，R3表示碳原子数为1～3的直链或分支状的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示金属原子或硅原子的价数。
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公开(公告)号：CN101065349A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200580036149.4
申请日：2005-10-05
申请人： 株式会社艾迪科
IPC分类号： C07C215/08 , H01L21/312 , H01L21/822 , H01L27/04 , H01L29/78 , C23C16/40 , C07F15/02
CPC分类号： C23C16/40 , C07C215/08 , H01L21/316 , H01L21/31691 , H01L28/55
摘要： 本发明的烷氧基化合物由下述通式(I)表示。本发明的烷氧基化合物是在液体的状态下可以输送且蒸汽压大而易于气化的铁化合物，特别地，可以实现组成控制性优异的薄膜的制造，适合于通过CVD法制造多成分薄膜的情况。式中，R1和R2分别独立地表示氢原子或者碳原子数为1－4的烷基，R3和R4表示碳原子数为1－4的烷基，A表示碳原子数为1－8的亚烷基。
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公开(公告)号：CN104470892B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201380035400.X
申请日：2013-10-21
申请人： 株式会社艾迪科
IPC分类号： C07C251/08 , C23C16/16 , C23C16/40 , H01L21/28 , H01L21/285 , C07F1/08 , C07F15/04 , C07F15/06
CPC分类号： C07F15/065 , C07C251/04 , C07C251/08 , C07F1/08 , C07F7/28 , C07F15/045 , C23C16/18 , C23C16/406 , C23C16/408
摘要： 本发明提供一种具有适合作为CVD法中的薄膜形成用原料的物性的金属醇盐化合物，特别是具有适合作为金属铜薄膜形成用原料的物性的金属醇盐化合物。具体地说，提供一种由下述通式(I)表示的金属醇盐化合物以及含有该金属醇盐化合物的薄膜形成用原料。通式(I)中，R1表示甲基或乙基，R2表示氢原子或甲基，R3表示碳原子数为1～3的直链或分支状的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示金属原子或硅原子的价数。
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公开(公告)号：CN100582297C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200580019520.6
申请日：2005-05-31
申请人： 株式会社艾迪科
CPC分类号： C23C16/407 , C07C49/92 , C23C16/18
摘要： 本发明的薄膜形成用原料是在25℃下是液体的双(β-二酮基)锌化合物，适用于形成含锌薄膜，通过使用该薄膜形成用原料，原料气体供应性或在流水线上的原料输送没有问题，能以稳定的成膜速度或薄膜组成控制进行薄膜制造。作为优选的(β-二酮基)锌化合物，可以列举出例如双(辛烷-2，4-二酮基)锌、双(2，2-二甲基-6-乙基癸烷-3，5-二酮基)锌。
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公开(公告)号：CN101848917B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN200880114793.2
申请日：2008-10-22
申请人： 株式会社艾迪科
CPC分类号： C23C16/45553 , C07F7/003 , C23C16/308 , C23C16/34 , C23C16/40
摘要： 本发明涉及一种由下述通式(1)表示的新型金属化合物、含有其的化学气相沉积用原料以及基于使用了该原料的化学气相沉积法的含有金属的薄膜的制造方法。作为该金属化合物，优选下述通式(1)中X为氯原子的化合物，这是因为原料便宜，挥发性高；当M为钛原子时，优选m为1的化合物，这是因为挥发温度(蒸汽温度)与薄膜沉积温度(反应温度)之差较大，可获得较宽的制程范围。下述式中，M表示钛、锆或铪，X表示卤原子，m表示1或2，
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公开(公告)号：CN101130860A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710141711.0
申请日：2007-08-21
申请人： 株式会社艾迪科
IPC分类号： C23C16/30 , C23C16/448
摘要： 本发明提供一种适合制造含有锌的薄膜的原料以及通过使用该原料的化学气相沉积法的薄膜的制造方法。由相对于1000ml不具有羟基的有机溶剂溶解有0.1～1摩尔作为必须成分的双(戊烷－2，4－二酮基)锌无水合物的溶液形成薄膜形成用原料，以及向基体上导入含有将该薄膜形成用原料气化而得到的含有双(戊烷－2，4－二酮基)锌无水合物的蒸汽，并使其分解和/或发生化学反应而在基体上形成含锌原子的薄膜。
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公开(公告)号：CN101848917A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200880114793.2
申请日：2008-10-22
申请人： 株式会社艾迪科
CPC分类号： C23C16/45553 , C07F7/003 , C23C16/308 , C23C16/34 , C23C16/40
摘要： 本发明涉及一种由下述通式(1)表示的新型金属化合物、含有其的化学气相沉积用原料以及基于使用了该原料的化学气相沉积法的含有金属的薄膜的制造方法。作为该金属化合物，优选下述通式(1)中X为氯原子的化合物，这是因为原料便宜，挥发性高；当M为钛原子时，优选m为1的化合物，这是因为挥发温度(蒸汽温度)与薄膜沉积温度(反应温度)之差较大，可获得较宽的制程范围。下述式中，M表示钛、锆或铪，X表示卤原子，m表示1或2，
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公开(公告)号：CN1898192A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200480038476.9
申请日：2004-11-09
申请人： 株式会社艾迪科
IPC分类号： C07C215/08 , C07F7/00 , C07F7/24 , C07F7/28 , C23C16/40
CPC分类号： C23C16/409 , C07F7/003 , C23C16/18
摘要： 本发明的金属化合物为以通式(I)所示的物质，其熔点低、能够以液体状态输送、且蒸气压大而易气化，而且即便与其它金属化合物混合，也不会因为配体交换和化学反应而变质，适于作为使金属化合物气化而形成薄膜的CVD法等薄膜制造方法中所使用的原料。通式(I)中，R1、R2、R3及R4表示碳原子数为1～4的烷基，A表示碳原子数为1～8的亚烷基，M表示铅原子、钛原子或锆原子，n在M为铅原子时表示2、在M为钛原子或锆原子时表示4。
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公开(公告)号：CN100595187C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200580036149.4
申请日：2005-10-05
申请人： 株式会社艾迪科
IPC分类号： C07C215/08 , H01L21/312 , H01L21/822 , H01L27/04 , H01L29/78 , C23C16/40 , C07F15/02
CPC分类号： C23C16/40 , C07C215/08 , H01L21/316 , H01L21/31691 , H01L28/55
摘要： 本发明的烷氧基化合物由下述通式(I)表示。本发明的烷氧基化合物是在液体的状态下可以输送且蒸汽压大而易于气化的铁化合物，特别地，可以实现组成控制性优异的薄膜的制造，适合于通过CVD法制造多成分薄膜的情况。见右式(I)，式中，R1和R2分别独立地表示氢原子或者碳原子数为1-4的烷基，R3和R4表示碳原子数为1-4的烷基，A表示碳原子数为1-8的亚烷基。
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公开(公告)号：CN1981068A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200580019520.6
申请日：2005-05-31
申请人： 株式会社艾迪科
CPC分类号： C23C16/407 , C07C49/92 , C23C16/18
摘要： 本发明的薄膜形成用原料是在25℃下是液体的双(β－二酮基)锌化合物，适用于形成含锌薄膜，通过使用该薄膜形成用原料，原料气体供应性或在流水线上的原料输送没有问题，能以稳定的成膜速度或薄膜组成控制进行薄膜制造。作为优选的(β－二酮基)锌化合物，可以列举出例如双(辛烷－2，4－二酮基)锌、双(2，2－二甲基－6－乙基癸烷－3，5－二酮基)锌。
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