发明授权
- 专利标题： 交叉四元和垂直接合的惯性传感器
- 专利标题（英）： Cross-quad and vertically coupled inertial sensors
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申请号： CN200680012422.4申请日： 2006-04-06
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公开(公告)号： CN101160506B公开(公告)日： 2013-02-06
- 发明人: 约翰·A·吉恩 , 邝锦波
- 申请人： 美国亚德诺半导体公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 美国亚德诺半导体公司
- 当前专利权人： 美国亚德诺半导体公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 申发振
- 优先权： 11/106,053 2005.04.14 US
- 国际申请： PCT/US2006/012963 2006.04.06
- 国际公布： WO2006/113162 EN 2006.10.26
- 进入国家日期： 2007-10-15
- 主分类号： G01C19/5719
- IPC分类号： G01C19/5719
摘要：
本发明提供了一种包括四个传感器元件的交叉四元结构的惯性传感器。每一个传感器元件具有框架及悬置在框架内的谐振器。布置传感器元件使得允许框架彼此反相移动，但基本防止框架彼此同相移动。这些传感器元件可以以水平接合的布置方式、垂直接合的布置方式或完全接合(即，水平和垂直接合)的布置方式配置。可以垂直接合一对传感器元件。
公开/授权文献
- CN101160506A 交叉四元和垂直接合的惯性传感器 公开/授权日：2008-04-09
