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    一种单轴MEMS陀螺仪
    1.
    发明授权
    一种单轴MEMS陀螺仪 有权

    公开(公告)号：CN117739941B

    公开(公告)日：2024-05-14

    申请号：CN202410193761.7

    申请日：2024-02-21

    申请人： 苏州亿波达微系统技术有限公司

    发明人： 朱泽华 ,  张裕华

    IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C19/5733

    摘要： 本发明涉及一种单轴MEMS陀螺仪，包括基底和至少一个陀螺机构，每个陀螺机构包括正交布置的两个驱动组件、正交布置的两个质量块组件以及正交布置的两个检测组件，每个驱动组件包括两个驱动模块；每个质量块组件包括两个质量块；每个检测组件包括两个检测模块，驱动模块通过第一弹簧梁连接锚点单元，且相邻的两个驱动模块之间通过耦合弹簧连接；质量块设于对应驱动模块背向陀螺机构中心的一侧，且对应的驱动模块和质量块之间通过第一解耦弹簧连接；检测模块与质量块交替布置，检测模块通过第二弹簧梁连接锚点单元，且相邻的质量块和检测模块通过第二解耦弹簧连接。本发明的单轴MEMS陀螺仪兼备小体积、高精度与高性能的优点。

    一种谐振环微机电陀螺实时自动模态匹配控制系统
    2.
    发明公开
    一种谐振环微机电陀螺实时自动模态匹配控制系统 审中-实审

    公开(公告)号：CN117705072A

    公开(公告)日：2024-03-15

    申请号：CN202311734675.4

    申请日：2023-12-15

    申请人： 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

    发明人： 李文宏 ,  王健 ,  岳亚洲 ,  孟冰 ,  张彧哲

    IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C19/5726

    摘要： 本申请提供一种谐振环微机电陀螺实时自动模态匹配控制系统，包括：谐振环微机电陀螺、检测模块、第一相敏解调器、第一低通滤波器、第一控制器、角速率调制模块、第二低通滤波器、第二控制器、模态匹配校准信号产生模块、模态匹配控制信号产生模块，其中：模态匹配校准信号产生模块产生独立两路校准信号S1和S2，与角速率力平衡反馈信号一起注入到陀螺力反馈电极上，后续的检测模块、第一相敏解调器、模态匹配控制信号产生模块依次对S1和S2经过谐振环微机电陀螺后的幅度响应信号进行检测、解调、低通滤波以及控制计算处理，最后反馈到陀螺调谐电极实现陀螺实时自动模态匹配闭环控制。

    集成式数字角速度陀螺仪、预测滤波方法和电子设备
    3.
    发明授权
    集成式数字角速度陀螺仪、预测滤波方法和电子设备 有权

    公开(公告)号：CN112762918B

    公开(公告)日：2023-07-14

    申请号：CN202011582343.5

    申请日：2020-12-28

    申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

    发明人： 邓永停 ,  李洪文 ,  王建立 ,  邵蒙

    IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C19/5726

    摘要： 本发明属于数据处理技术领域，具体涉及一种集成式数字角速度陀螺仪、预测滤波方法和电子设备。本发明一种集成式数字角速度陀螺仪，包括顺次信号连接的角速度陀螺仪、DSP微型控制器和串口接口，所述DSP微型控制器包括预测滤波模块，所述预测滤波模块根据角速度陀螺仪传输的角速度信号进行处理，从串口接口输出预测滤波信号。本发明集成式数字角速度陀螺仪能够准确的对角速度数据进行滤波处理，同时能够对角加速度进行准确预测，能够大幅度提高系统控制精度。

    一种半球谐振陀螺振动状态监测系统及监测方法
    5.
    发明公开
    一种半球谐振陀螺振动状态监测系统及监测方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN114858153A

    公开(公告)日：2022-08-05

    申请号：CN202210364971.9

    申请日：2022-04-08

    申请人： 哈尔滨工业大学

    发明人： 王常虹 ,  李汉时 ,  解伟男 ,  奚伯齐 ,  伊国兴

    IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C25/00

    摘要： 一种半球谐振陀螺振动状态监测系统及监测方法，它属于半球谐振陀螺振动状态监测技术领域。本发明解决了现有的半球谐振陀螺振动状态监测方式存在振动信息缺失的问题。本发明方法所采取的主要技术方案为：建立包括半球谐振陀螺表头、陀螺控制板卡、转台、转台驱动器、数据采集卡和计算机的半球谐振陀螺振动状态监测系统，转台负责提供角速度输入，陀螺控制板卡负责解算陀螺振动信息并驱动谐振子振动，数据采集卡负责将陀螺振动信号采集到计算机中，计算机负责实时解算出各待监测量，并将其进行显示和保存，以及给转台驱动器发送指令来控制转台。本发明方法可以应用于对半球谐振陀螺振动状态进行监测。

    用于运行转速传感器的方法
    6.
    发明授权
    用于运行转速传感器的方法 有权

    公开(公告)号：CN106482722B

    公开(公告)日：2021-07-27

    申请号：CN201610891738.0

    申请日：2016-08-26

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： M·哈塔斯 ,  O-A·普吕茨

    IPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C19/5726

    摘要： 本发明涉及用于运行转速传感器的方法，所述转速传感器具有衬底、相对于衬底可运动的至少一个结构、固定在所述结构上的至少一个第一电极、与衬底固定的至少一个第二电极、与衬底固定的至少一个第三电极、固定在所述结构上的至少一个第四电极、与衬底固定的至少一个第五电极和与衬底固定的至少一个第六电极，其中，所述第一电极至少部分地在第二电极和第三电极之间并且第四电极至少部分地在第五电极和第六电极之间分别在所述结构的静止位置中并且沿着基本上平行于第一轴线的方向布置，其中，在第一方法步骤中，激励所述结构由结构的静止位置振动，所述振动在该振动的至少一个振动周期内的至少一个第一时间区间期间具有基本上平行于一垂直于第一轴线延伸的第二轴线的运动分量。

    振动微机械角速度传感器及其操作方法
    7.
    发明授权
    振动微机械角速度传感器及其操作方法 有权

    公开(公告)号：CN107636419B

    公开(公告)日：2021-06-11

    申请号：CN201680028021.1

    申请日：2016-05-12

    申请人： 株式会社村田制作所

    发明人： 加藤良隆

    IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5747 ,  G01C19/5762

    摘要： 公开了一种传感器结构和一种用于操作角速度的振动传感器的方法，其中振动传感器包括旋转质量块(103)和两个线性移动质量块(101、102)。传感器结构包括两个T形杆(218、219)，每个T形杆与两个线性移动质量块(101、102)耦接并且耦接至旋转质量块(103)。T形杆(218、219)使得旋转质量块(103)和两个线性移动质量块(101、102)能够被激励进入反相位主模式，在反相位主模式下旋转质量块(103)的角动量的方向与线性移动质量块(101、102)的角动量的方向相反。旋转质量块(103)和线性移动质量块(101、102)的角动量在很大程度上彼此抵消，使得结构的角动量的总和非常小。与例如平行相位主模式的其他可能的主模式的标称频率相比，反相位主模式的标称频率明显低。

    角速度传感器、电子设备以及移动体
    8.
    发明授权
    角速度传感器、电子设备以及移动体 失效

    公开(公告)号：CN104596495B

    公开(公告)日：2019-04-09

    申请号：CN201410601637.6

    申请日：2014-10-30

    申请人： 精工爱普生株式会社

    发明人： 西泽竜太 ,  中川啓史 ,  清水教史

    IPC分类号： G01C19/5719

    摘要： 本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动。本发明的角速度传感器具备：固定部(221、222)；基部(21)；将基部(21)相对于固定部(221、222)进行支承的梁部(223、224、225、226)；连接于基部(21)的驱动用振动臂(25～26)；连接于基部(21)的检测用振动臂(23、24)，在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223、224、225、226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]时，满足f1＜f2＜f3的关系。