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公开(公告)号：CN110023233B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN201780074019.2
申请日：2017-11-10
申请人： 美国亚德诺半导体公司
摘要： 描述带帽微机电系统(MEMS)装置。至少在某些情况下，MEMS装置包括一个或多个移动的质量块。帽可包括阻尼一个或多个可移动质量块的运动的塞子。至少在某些情况下，塞子阻尼质量块之一但不是另一个质量块的运动。
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公开(公告)号：CN113758477B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202110622709.5
申请日：2021-06-04
申请人： 美国亚德诺半导体公司
IPC分类号： G01C19/5747
摘要： 本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪)。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。
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公开(公告)号：CN110023233A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780074019.2
申请日：2017-11-10
申请人： 美国亚德诺半导体公司
摘要： 描述带帽微机电系统(MEMS)装置。至少在某些情况下，MEMS装置包括一个或多个移动的质量块。帽可包括阻尼一个或多个可移动质量块的运动的塞子。至少在某些情况下，塞子阻尼质量块之一但不是另一个质量块的运动。
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公开(公告)号：CN104880181B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510271924.X
申请日：2010-07-27
申请人： 美国亚德诺半导体公司
IPC分类号： G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： 本发明涉及对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器。对于正交误差和微机械加工不准确性的敏感性降低的惯性传感器包括结合用于感测围绕器件平面中的两条正交轴线，即敏感性轴线的旋转的、两个被专门地配置的单一轴线陀螺仪的陀螺仪，其中每一个单一轴线陀螺仪均包括具有被叉子相互连接的两个被以旋转方式颤动的梭子的共振器并且每一个梭子均被配置为沿着垂直于敏感性轴线的倾斜轴线向面外倾斜，并且包括沿着垂直于倾斜轴线，即平行于敏感性轴线的轴线定位的相应的科里奥利感测电极。该两个单一轴线陀螺仪可以被例如将叉子和/或梭子相互连接的一个或者多个同相或者反相耦合件相互连接。
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公开(公告)号：CN113758477A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110622709.5
申请日：2021-06-04
申请人： 美国亚德诺半导体公司
IPC分类号： G01C19/5747
摘要： 本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪)。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。
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公开(公告)号：CN102498365B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201080041359.3
申请日：2010-07-27
申请人： 美国亚德诺半导体公司
IPC分类号： G01C19/5705
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： 对于正交误差和微机械加工不准确性的敏感性降低的惯性传感器包括结合用于感测围绕器件平面中的两条正交轴线(敏感性轴线)的旋转的、两个被专门地配置的单一轴线陀螺仪的陀螺仪，其中每一个单一轴线陀螺仪均包括具有被叉子相互连接的两个被以旋转方式颤动的梭子的共振器并且每一个梭子均被配置为沿着垂直于敏感性轴线的倾斜轴线向面外倾斜，并且包括沿着垂直于倾斜轴线(即，平行于敏感性轴线)的轴线定位的相应的科里奥利感测电极。该两个单一轴线陀螺仪可以被例如将叉子和/或梭子相互连接的一个或者多个同相或者反相耦合件相互连接。
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公开(公告)号：CN104880181A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510271924.X
申请日：2010-07-27
申请人： 美国亚德诺半导体公司
IPC分类号： G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： 本发明涉及对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器。对于正交误差和微机械加工不准确性的敏感性降低的惯性传感器包括结合用于感测围绕器件平面中的两条正交轴线，即敏感性轴线的旋转的、两个被专门地配置的单一轴线陀螺仪的陀螺仪，其中每一个单一轴线陀螺仪均包括具有被叉子相互连接的两个被以旋转方式颤动的梭子的共振器并且每一个梭子均被配置为沿着垂直于敏感性轴线的倾斜轴线向面外倾斜，并且包括沿着垂直于倾斜轴线，即平行于敏感性轴线的轴线定位的相应的科里奥利感测电极。该两个单一轴线陀螺仪可以被例如将叉子和/或梭子相互连接的一个或者多个同相或者反相耦合件相互连接。
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公开(公告)号：CN118209092A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410333044.X
申请日：2021-06-04
申请人： 美国亚德诺半导体公司
IPC分类号： G01C19/5747
摘要： 本文涉及具有旋转振动抑制的3轴陀螺仪。描述了平衡不期望的线性和角振动的柱状多轴微机电系统(MEMS)装置(例如陀螺仪)。在一些实施方案中，柱状MEMS装置可包括至少两个多质量柱，每个柱具有至少三个检测质量块并且被配置为感测绕相应轴的旋转。检测质量块的运动和质量可以被控制以实现MEMS装置的线性和旋转平衡。柱状MEMS装置还可包括一个或多个模块化驱动结构，其与每个多质量柱并排布置，以促进相应柱的检测质量块的移位。本文描述的MEMS装置可以用于感测横滚、航向和俯仰角速率。
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公开(公告)号：CN101160506B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN200680012422.4
申请日：2006-04-06
申请人： 美国亚德诺半导体公司
IPC分类号： G01C19/5719
CPC分类号： G01C19/574
摘要： 本发明提供了一种包括四个传感器元件的交叉四元结构的惯性传感器。每一个传感器元件具有框架及悬置在框架内的谐振器。布置传感器元件使得允许框架彼此反相移动，但基本防止框架彼此同相移动。这些传感器元件可以以水平接合的布置方式、垂直接合的布置方式或完全接合(即，水平和垂直接合)的布置方式配置。可以垂直接合一对传感器元件。
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