Al-Ni-La体系Al-基合金溅射靶及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种含有Ni和La的Al-Ni-La体系Al-基合金溅射靶,其中,当通过扫描电子显微镜在2000倍的放大倍数观察垂直于溅射靶平面的横截面中从(1/4)t至(3/4)t(t:厚度)的截面时,(1)按面积分数计,平均粒径为0.3μm至3μm的Al-Ni体系金属间化合物的总面积相对于全部Al-Ni体系金属间化合物的总面积为70%以上,所述Al-Ni体系金属间化合物主要由Al和Ni组成;和(2)按面积分数计,平均粒径为0.2μm至2μm的Al-La体系金属间化合物的总面积相对于全部Al-La体系金属间化合物的总面积为70%以上,所述Al-La体系金属间化合物主要由Al和La组成。
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