发明公开
- 专利标题: 弹性体的连续收缩——一种产生微米和纳米结构的简单微型化方法
- 专利标题(英): Successive shrinking of elastomers - a simple miniaturization protocol to produce micro-and nano-structures
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申请号: CN200680018621.6申请日: 2006-05-30
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公开(公告)号: CN101189106A公开(公告)日: 2008-05-28
- 发明人: 刘刚玉 , 胡军 , 谭俐 , 刘茂孜
- 申请人: 加利福尼亚大学董事会
- 申请人地址: 美国加利福尼亚
- 专利权人: 加利福尼亚大学董事会
- 当前专利权人: 加利福尼亚大学董事会
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 谢顺星
- 优先权: 60/685,210 2005.05.27 US
- 国际申请: PCT/US2006/020985 2006.05.30
- 国际公布: WO2006/128189 EN 2006.11.30
- 进入国家日期: 2007-11-27
- 主分类号: B28B7/06
- IPC分类号: B28B7/06 ; B28B7/38 ; B28B7/40 ; B29C55/02 ; B29C61/02 ; B29C41/00 ; B29C43/00 ; B29C35/00 ; B29C33/42
摘要:
分步收缩和吸附纳米光刻(SCAN)图案工艺能够收缩复杂的(由目前微制造技术产生的)微结构到纳米级。SCAN的基本原理是转移预设计的微结构到伸长的弹性体上。该伸长的弹性体然后被允许松弛,因此缩小了微结构。该新的微型化结构然后用作转移该结构到其它拉长弹性体上的印章。通过重复上述过程,带有预设计几何形状的材料的图案被微型化到希望尺寸,包括亚100nm。SCAN的简单性和高产量能力使得该平台成为其它微或纳米技术具有竞争力的替换,有潜力地应用在多路传感器、非二进制光学显示、生物芯片、纳米电子器件以及微流器件中。