公开(公告)号：CN101189106A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200680018621.6

申请日：2006-05-30

申请人： 加利福尼亚大学董事会

发明人： 刘刚玉 ,  胡军 ,  谭俐 ,  刘茂孜

IPC分类号： B28B7/06 ,  B28B7/38 ,  B28B7/40 ,  B29C55/02 ,  B29C61/02 ,  B29C41/00 ,  B29C43/00 ,  B29C35/00 ,  B29C33/42

CPC分类号： B29C59/18 ,  B29C59/022 ,  B29C2059/023 ,  B29C2791/001 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

摘要： 分步收缩和吸附纳米光刻(SCAN)图案工艺能够收缩复杂的(由目前微制造技术产生的)微结构到纳米级。SCAN的基本原理是转移预设计的微结构到伸长的弹性体上。该伸长的弹性体然后被允许松弛，因此缩小了微结构。该新的微型化结构然后用作转移该结构到其它拉长弹性体上的印章。通过重复上述过程，带有预设计几何形状的材料的图案被微型化到希望尺寸，包括亚100nm。SCAN的简单性和高产量能力使得该平台成为其它微或纳米技术具有竞争力的替换，有潜力地应用在多路传感器、非二进制光学显示、生物芯片、纳米电子器件以及微流器件中。