发明公开
CN101201453A 低压微机械器件
无效 - 撤回
- 专利标题： 低压微机械器件
- 专利标题（英）： Low voltage micro mechanical device
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申请号： CN200710169268.8申请日： 2007-11-08
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公开(公告)号： CN101201453A公开(公告)日： 2008-06-18
- 发明人: 潘晓和 , 托尔·诺塔
- 申请人： 视频有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚
- 专利权人： 视频有限公司
- 当前专利权人： 视频有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 秦晨
- 优先权： 11/557,769 2006.11.08 US
- 主分类号： G02B26/08
- IPC分类号： G02B26/08 ; H02N1/00
摘要：
驱动装置中多个MEMS器件的方法。将电压脉冲施加到MENS器件的电极或结构部分。电极位于结构部分下方的基片上。多个MEMS器件的至少两个MEMS器件具有不同的阈电压，阈电压是移动结构部分所需的最低电压。偏压被施加到MEMS器件的电极或结构部分的无论哪一个，不会使电压脉冲施加到其上。偏压和电压脉冲能够移动具有不同阈电压的较高阈电压的MEMS器件结构部分。
