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发明公开
低压微机械器件无效

公开(公告)号：CN101201453A

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN200710169268.8

申请日：2007-11-08

申请人： 视频有限公司

发明人： 潘晓和 , 托尔·诺塔

IPC分类号： G02B26/08 , H02N1/00

CPC分类号： G09G3/346 , G02B26/0841

摘要： 驱动装置中多个MEMS器件的方法。将电压脉冲施加到MENS器件的电极或结构部分。电极位于结构部分下方的基片上。多个MEMS器件的至少两个MEMS器件具有不同的阈电压，阈电压是移动结构部分所需的最低电压。偏压被施加到MEMS器件的电极或结构部分的无论哪一个，不会使电压脉冲施加到其上。偏压和电压脉冲能够移动具有不同阈电压的较高阈电压的MEMS器件结构部分。