强化的微机械部件
摘要:
本发明涉及微机械部件例如钟表机芯部件,其包括硅核心(1)。所述硅核心的表面(3)的部分或全部覆盖有厚的非晶态材料(2)。所述材料优选地是二氧化硅,并且厚度至少比原生二氧化硅大五倍。
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