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发明授权
CN101213497B 强化的微机械部件 有权

强化的微机械部件
摘要：
本发明涉及微机械部件例如钟表机芯部件，其包括硅核心(1)。所述硅核心的表面(3)的部分或全部覆盖有厚的非晶态材料(2)。所述材料优选地是二氧化硅，并且厚度至少比原生二氧化硅大五倍。
摘要（英）：

The invention relates to a micromechanical part, for example a clock watch movement part, comprising a silicon core (1). Part or all of the surface (3) of said silicon core is coated with a thick amorphous material (2). Said material is preferably silicon dioxide and is at least five times thicker than native silicon dioxide.

公开/授权文献
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