一种制备钛酸铋钠基无铅压电厚膜的方法
摘要:
本发明公开了一种制备钛酸铋钠基无铅压电厚膜的方法,包括①按固相法制备结构式为(Na0.5Bi0.5)(1-x)BaxTiO30<x<1的陶瓷粉料,加入粘合剂,松油醇,分散剂和增塑剂,碾磨再球磨成浆料并印刷、烘烤和预烧得单层膜;②以三乙醇胺为催化剂,乙酰丙酮为稳定剂配制BNT-BT前驱体溶液,分成两份,一份经过烘烤、碾磨、预烧和球磨后加入到另一份溶胶中,得复合溶胶;③复合溶胶旋涂至预烧后的厚膜上后,改为垂直放置,再次旋转、烘干、预烧、重复填充数次,退火;④重复印刷、放平、烘干、预烧、填充、预烧和结晶步骤,得到所需厚度的厚膜素坯再烧结即可。本发明的优点是工艺简单,成膜致密度高,电性能优异,能应用于压电微马达、微流体泵、超声换能器及微执行器等。
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