并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置
摘要:
并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置,它涉及一种高精度大口径光栅拼接装置。本发明可以解决国内无高精度大口径光栅拼接装置的问题。二维运动平台部件(7)固定在基座(6)上,动光栅部件(1)的下端与二维运动平台部件(7)的上端球铰接,定光栅部件(4)固装在基座(6)上,第一X轴直线驱动器(2)、第三X轴直线驱动器(9)、第二X轴直线驱动器(8)由上至下沿X轴方向依次设置在基座(6)上,第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)由上至下沿Y轴方向依次设置在基座(6)上,每个直线驱动器分别与基座(6)和动光栅部件(1)固接。本发明具有结构紧凑、调整方便、操作灵活、拼接精度高等优点,可以实现大面积的动光栅与静光栅在空间五个自由度方向上的高精度拼接。
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