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公开(公告)号：CN110108061A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910436614.7
申请日：2019-05-23
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种小功率半导体多级低温制冷装置，所述装置由制冷系统、冷却系统、温控系统三部分组成，其中：所述制冷系统分为两级，由第一级制冷系统和第二级制冷系统组成；所述第一级制冷系统由一级半导体制冷片和一级导冷板组成；所述第二级制冷系统由二级半导体制冷片和二级导冷板组成；所述冷却系统由一级冷却系统和二级冷却系统组成；所述一级冷却系统由散热器组成；所述二级冷却系统由冷水箱组成；所述温控系统由主控单片机、温度传感器和控制半导体制冷片的继电器组成。本发明的装置具有体积小、功率小、成本低、效率高和易实现等优点，因而具有实现简单的益处，仅仅需要小功率电源即可实现半导体多级制冷。
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公开(公告)号：CN105281192B
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201510658578.0
申请日：2015-10-12
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 带有晶体温度调控功能的大口径激光倍频转换及聚焦装置，为解决现有的大口径激光倍频转换及聚焦装置不具有温度调控能力,不能实现非临界相位匹配的问题。聚焦透镜、转接法兰、四倍频转换模块、第一光管道、二倍频转换模块和第二光管道由左至右依次布置，且聚焦透镜与转接法兰固定连接，转接法兰与四倍频转换模块固定连接，四倍频转换模块与第一光管道固定连接，第一光管道与二倍频转换模块固定连接，二倍频转换模块与第二光管道固定连接，四倍频转换模块和二倍频转换模块固装在支架上。四倍频转换模块采用双温控技术实现二倍频到四倍频的转换，并通过聚焦透镜实现高能量激光的聚焦。本发明用于实现高通量大口径激光的倍频转换。
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公开(公告)号：CN105022166B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201510526032.X
申请日：2015-08-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置，包括呈长方体结构的洁净转运箱，其前端敞口，后端设有进风口；可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置，并能够遮盖住该敞口的前挡板；可拆卸地安装在所述进风口位置，并能够遮盖住该进风口的后挡板；对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道，该滑道具有至少一条滑槽，所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求，大口径光学元件在进入滑道后，能够实现一定的柔性调整，转运方便可靠，具有结构简单，操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN105022166A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510526032.X
申请日：2015-08-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 本发明公开了一种大口径光学元件动态洁净保持和转运装置，包括呈长方体结构的洁净转运箱，其前端敞口，后端设有进风口；可拆卸地设置在所述洁净转运箱的前端敞口位置，并能够遮盖住该敞口的前挡板；可拆卸地安装在所述进风口位置，并能够遮盖住该进风口的后挡板；对称地设置在洁净转运箱顶壁和底面上的滑道，该滑道具有至少一条滑槽，所述滑槽中部的宽度大于其两端的宽度。本发明能够满足大口径光学元件在线安装维护和运行过程中的洁净要求，大口径光学元件在进入滑道后，能够实现一定的柔性调整，转运方便可靠，具有结构简单，操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN101221273A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200810063952.2
申请日：2008-01-30
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 并联式宏微驱动的高精度大口径光栅拼接装置，它涉及一种高精度大口径光栅拼接装置。本发明可以解决国内无高精度大口径光栅拼接装置的问题。二维运动平台部件(7)固定在基座(6)上，动光栅部件(1)的下端与二维运动平台部件(7)的上端球铰接，定光栅部件(4)固装在基座(6)上，第一X轴直线驱动器(2)、第三X轴直线驱动器(9)、第二X轴直线驱动器(8)由上至下沿X轴方向依次设置在基座(6)上，第一Y轴直线驱动器(3)、第二Y轴直线驱动器(5)由上至下沿Y轴方向依次设置在基座(6)上，每个直线驱动器分别与基座(6)和动光栅部件(1)固接。本发明具有结构紧凑、调整方便、操作灵活、拼接精度高等优点，可以实现大面积的动光栅与静光栅在空间五个自由度方向上的高精度拼接。
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公开(公告)号：CN115924291B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202211389503.3
申请日：2022-11-08
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明提供了一种光学元件洁净转运装置，涉及光学元件洁净转运技术领域，包括箱体、对接机构、转运机构，所述箱体内设有连通的容置腔和对接口，所述容置腔用于容置预转运的光学元件，所述对接口用于供所述光学元件进出，所述对接机构连接于所述箱体上，所述对接机构用于与光学组件的窗口连接，所述转运机构与所述箱体滑动连接，所述转运机构用于与所述光学元件连接，以从所述光学组件取下所述光学组件并将所述光学元件运至所述容置腔中。通过对接机构与光学组件的窗口密封连接，使得转运时，转运装置与箱体间具有良好的密封性，同时能直接通过转运机构将光学元件从光学组件拉出并运至容置腔，无需额外的辅助机构，转运效率较高。
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公开(公告)号：CN111167790B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202010026666.X
申请日：2020-01-10
申请人： 哈尔滨工业大学 , 上海航天设备制造总厂有限公司
摘要： 本发明提出了一种收展式水射流超声振动清洗装置，属于清洗设备领域，特别是涉及一种收展式水射流超声振动清洗装置。解决了现有的清洗设备难以进入狭窄的贮箱口并在贮箱内部展开对贮箱内壁面进行清洗的问题。它包括驱动机构、收展机构和超声阵列板，所述不锈钢丝杆上端穿过固定上座后与驱动机构输出端相连，所述驱动机构驱动不锈钢丝杆旋转，所述不锈钢丝杆上螺接伸缩丝母，所述伸缩丝母与滑动上座固连，所述滑动上座下方依次设置固定下座和滑动下座，所述固定下座和滑动下座均与不锈钢丝杆相连，所述固定上座与固定下座之间固定连接有四个固定环连杆，所述滑动下座与滑动上座之间固定连接有四个运动环连杆。它主要用于小口径贮箱内壁的清洗。
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公开(公告)号：CN111229727A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010066540.5
申请日：2020-01-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，属于洁净技术领域。目的是为了解决在人工无法达到的环境下，如何对光学元件表面进行洁净化处理，包括固定支架、光学元件、离子风系统、静电吸附系统和颗粒污染物收纳盒；离子风系统由风刀、离子棒、离子棒支架、固定支架、连接片、三自由度组合位移台组成，静电吸附系统由棒状电极、电极固定支座、手动平移台，固定支架组成，所述颗粒污染物收纳盒通过收纳盒支撑架与工作面连接。所述颗粒污染物收纳盒与收纳盒支撑架的夹角为135°。本发明的结构十分紧凑，光学元件通过固定支架，固定在底板上，量产性高，成本低，采用的离子风吹扫，高压吸附效果好，而且具有漏电保护性能，安全系数高等特点。
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公开(公告)号：CN107740067B
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201710900693.3
申请日：2017-09-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/27
摘要： 微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法，属于金刚石薄膜化学气相沉积制备技术领域。真空泵通过真空针阀与真空反应室连通，氢气瓶、氩气瓶和甲烷瓶与混合箱连通，进气针阀固定在真空反应室炉盖上，压力控制装置与真空反应室连通，电极组件固定在真空反应室内，工作台设置在真空反应室内，微刀具固定在工作台上，两根电缆线从加热电源处引出并与电极组件连接，热电偶的探头端部贴有硬质合金薄片，红外测温仪通过其自带的支架设置于真空反应室外部，冷水机外接有四根冷水管，其中两根与真空反应室的炉盖连通，其余两根与真空反应室的炉体连通，真空表安装在真空反应室的炉盖上。本发明用于微刀具金刚石涂层的化学气相沉积。
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公开(公告)号：CN106282964B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201610685787.9
申请日：2016-08-18
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： C23C16/27
摘要： 微刀具表面热丝法化学气相沉积金刚石涂层的电极系统，属于化学气相沉积金刚石涂层技术领域。固定端立柱和移动端立柱可拆卸固定于底座上，固定端大电极可拆卸固定于固定端立柱上端，固定端小电极可拆卸固定于固定端大电极上端；移动端立柱的上端固定有支撑板，弹簧固定安装块二可拆卸固定于支撑板上，移动板滑动设置在支撑板上，弹簧固定安装块一可拆卸固定在移动板上，移动端小电极与弹簧固定安装块一可拆卸固定连接，两个拉伸弹簧水平并列设置并固定在两个弹簧固定安装块之间，三根热丝与固定端小电极、固定端大电极及移动端小电极可拆卸固定连接，真空陶瓷电极组件分别与固定端小电极及移动端小电极电连接。本发明用于化学气相沉积金刚石涂层。
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