电熔丝的制造方法和半导体结构
摘要:
本发明涉及一种电熔丝的制造方法和半导体结构。提供一种结构的制造方法,该方法包括提供一种结构。该结构包括(a)衬底层,(b)在衬底层中的第一熔丝电极,以及(c)在衬底层和第一熔丝电极上的熔丝电介质层。该方法还包括(i)在熔丝电介质层中形成开口,以便第一熔丝电极通过该开口暴露于周围环境,(ii)在该开口的侧壁和底壁上形成熔丝区域,以便将熔丝区域电耦合到第一熔丝电极,以及(iii)在所述形成熔丝区域之后,用电介质材料填充该开口。
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