发明授权
CN101289736B 分压测量方法及分压测量装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 分压测量方法及分压测量装置
- 专利标题(英): Partial pressure measuring method and partial pressure measuring apparatus
-
申请号: CN200810093059.4申请日: 2008-04-16
-
公开(公告)号: CN101289736B公开(公告)日: 2011-03-02
- 发明人: 山本昌裕 , 小岩崎刚 , 山西齐 , 村岸勇夫 , 吉永光宏
- 申请人: 松下电器产业株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人: 松下电器产业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 徐殿军
- 优先权: 108968/2007 2007.04.18 JP
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24
摘要:
简便地测量真空腔室内部的分压分布的分压测量方法及分压测量装置包括:移动步骤,使真空腔室内具有的测量专用的局部等离子源(9)移动到测量部位;以及测量步骤,经由设在真空腔室的壁部上的供光通过的窗,受光来自局部等离子源产生的等离子的发光,通过分光测量所受光的发光的发光强度,测量真空腔室内的分压分布。
公开/授权文献
- CN101289736A 分压测量方法及分压测量装置 公开/授权日:2008-10-22