包括高填充率硅空间光调制器的投影显示系统
Abstract:
一种显示系统包括光源和第一光学系统,所述第一光学系统光耦合到所述光源,并且适于沿着照明路径而提供照明光束。所述显示系统还包括位于所述照明路径中的空间光调制器。所述空间光调制器包括半导体基底和铰链结构,所述半导体基底包括多个电极器件,所述铰链结构耦接到所述半导体基底。所述铰链结构包括硅材料。所述空间光调制器还包括镜柱和镜板,所述镜柱耦接到所述铰链结构,并且延伸到离半导体基底预定距离的位置,所述镜板耦接到所述镜柱,并且覆盖所述多个电极器件。所述显示系统还包括第二光学系统,其光耦合到所述空间光调制器,并且适于将图像投影到投影表面上。
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