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公开(公告)号：CN101923215B
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201010248133.2
申请日：2006-10-26
申请人： 明锐有限公司
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： 本发明涉及用于形成复合基底结构的方法。一种显示系统包括光源和第一光学系统，所述第一光学系统光耦合到所述光源，并且适于沿着照明路径而提供照明光束。所述显示系统还包括位于所述照明路径中的空间光调制器。所述空间光调制器包括半导体基底和铰链结构，所述半导体基底包括多个电极器件，所述铰链结构耦接到所述半导体基底。所述铰链结构包括硅材料。所述空间光调制器还包括镜柱和镜板，所述镜柱耦接到所述铰链结构，并且延伸到离半导体基底预定距离的位置，所述镜板耦接到所述镜柱，并且覆盖所述多个电极器件。所述显示系统还包括第二光学系统，其光耦合到所述空间光调制器，并且适于将图像投影到投影表面上。
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公开(公告)号：CN101548465A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200780045176.7
申请日：2007-12-04
申请人： 明锐有限公司
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H3/0072 , H03H3/0073 , H03H9/02244 , H03H9/2463 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519
摘要： 本发明涉及用于MEMS振荡器的方法及设备。一种谐振器包括CMOS基底，其包括第一电极及第二电极。所述CMOS基底设置成向所述第一电极提供一个或更多控制信号。所述谐振器还包括谐振器结构，其包括硅材料层。所述谐振器结构连接至所述CMOS基底并设置成响应于所述一个或更多控制信号而发生谐振。
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公开(公告)号：CN103105674A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310014798.0
申请日：2008-01-25
申请人： 明锐有限公司
发明人： 杨晓 , 威廉·斯潘塞·沃利三世 , 东敏·陈 , 王叶
CPC分类号： G02B26/0841 , B41J2/471 , G02B26/105
摘要： 本申请涉及用于激光打印设备的扫描反光镜及其制作方法。根据一种实施例，扫描反光镜包括：框架；一对固定电极指状物组，其连接到所述框架，所述固定电极指状物组中的每个包括多个固定电极；一组扭转铰链，其连接到所述框架；反光镜板，其连接到所述扭转铰链；一对可动电极指状物组，其连接到所述反光镜板，所述可动电极指状物组中的每一者包括多个可动指状物，其中所述多个可动指状物被构造为与所述多个固定指状物相交错。
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公开(公告)号：CN101297227B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200680040202.2
申请日：2006-10-26
申请人： 明锐有限公司
IPC分类号： G02B26/00
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B26/008
摘要： 一种用于显示应用的光偏转器件。所述光偏转器件包括具有上表面区域的半导体基底(105)以及一个或多个电极器件(112)，电极器件被设置以覆在上表面区域之上。该光偏转器件还包括铰链器件(214)，铰链器件包括硅材料并连接至所述上表面区域。该光偏转器件还包括：间隙，其界定在上表面区域与铰链器件(214)之间；以及镜子结构，其包括连接至铰链器件(214)的柱部分(208)，以及连接至柱部分(208)并覆在铰链器件(214)之上的镜板部分(212)。
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公开(公告)号：CN101923215A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010248133.2
申请日：2006-10-26
申请人： 明锐有限公司
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： 本发明涉及用于形成复合基底结构的方法。一种显示系统包括光源和第一光学系统，所述第一光学系统光耦合到所述光源，并且适于沿着照明路径而提供照明光束。所述显示系统还包括位于所述照明路径中的空间光调制器。所述空间光调制器包括半导体基底和铰链结构，所述半导体基底包括多个电极器件，所述铰链结构耦接到所述半导体基底。所述铰链结构包括硅材料。所述空间光调制器还包括镜柱和镜板，所述镜柱耦接到所述铰链结构，并且延伸到离半导体基底预定距离的位置，所述镜板耦接到所述镜柱，并且覆盖所述多个电极器件。所述显示系统还包括第二光学系统，其光耦合到所述空间光调制器，并且适于将图像投影到投影表面上。
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公开(公告)号：CN101578687A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200780049387.8
申请日：2007-12-28
申请人： 明锐有限公司
CPC分类号： B81C1/00293 , B81C2203/0136 , B81C2203/0145
摘要： 本发明涉及用于MEMS结构的晶片级封装的方法和系统。一种为耦合到衬底的MEMS结构形成封装的方法包括在衬底上形成包封材料和对包封材料进行图案化以形成多个被包封结构。该方法还包括在衬底上沉积第一覆盖层和在第一覆盖层中形成一个或多个释放孔图案。该方法还包括去除包封材料和沉积第二覆盖层。
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公开(公告)号：CN101548465B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200780045176.7
申请日：2007-12-04
申请人： 明锐有限公司
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H3/0072 , H03H3/0073 , H03H9/02244 , H03H9/2463 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519
摘要： 本发明涉及用于MEMS振荡器的方法及设备。一种谐振器包括CMOS基底，其包括第一电极及第二电极。所述CMOS基底设置成向所述第一电极提供一个或更多控制信号。所述谐振器还包括谐振器结构，其包括硅材料层。所述谐振器结构连接至所述CMOS基底并设置成响应于所述一个或更多控制信号而发生谐振。
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公开(公告)号：CN101297228A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200680040298.2
申请日：2006-10-26
申请人： 明锐有限公司
CPC分类号： G02B26/0841
摘要： 一种显示系统包括光源和第一光学系统，所述第一光学系统光耦合到所述光源，并且适于沿着照明路径而提供照明光束。所述显示系统还包括位于所述照明路径中的空间光调制器。所述空间光调制器包括半导体基底和铰链结构，所述半导体基底包括多个电极器件，所述铰链结构耦接到所述半导体基底。所述铰链结构包括硅材料。所述空间光调制器还包括镜柱和镜板，所述镜柱耦接到所述铰链结构，并且延伸到离半导体基底预定距离的位置，所述镜板耦接到所述镜柱，并且覆盖所述多个电极器件。所述显示系统还包括第二光学系统，其光耦合到所述空间光调制器，并且适于将图像投影到投影表面上。
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公开(公告)号：CN101297227A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200680040202.2
申请日：2006-10-26
申请人： 明锐有限公司
IPC分类号： G02B26/00
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B26/008
摘要： 一种用于显示应用的光偏转器件。所述光偏转器件包括具有上表面区域的半导体基底(105)以及一个或多个电极器件(112)，电极器件被设置以覆在上表面区域之上。该光偏转器件还包括铰链器件(214)，铰链器件包括硅材料并连接至所述上表面区域。该光偏转器件还包括：间隙，其界定在上表面区域与铰链器件(214)之间；以及镜子结构，其包括连接至铰链器件(214)的柱部分(208)，以及连接至柱部分(208)并覆在铰链器件(214)之上的镜板部分(212)。
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公开(公告)号：CN101641629B
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN200880009714.1
申请日：2008-01-25
申请人： 明锐有限公司
发明人： 杨晓 , 威廉·斯潘塞·沃利三世 , 东敏·陈 , 王叶
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B41J2/471 , G02B26/105
摘要： 本发明提供了一种用于激光打印应用的微机电系统。用于激光打印应用的微机电系统包括提供包括一对电极的CMOS衬底，以及提供在衬底和电极上方可动的反光镜。施加到电极的电压产生静电力，使得反光镜的一个末端被衬底吸引。通过感测反光镜的末端与下方电极之间的电容的改变可以探测并且控制反光镜的精确位置。
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