- 专利标题: 采用全光学膜体系的垂直结构发光二极管制作方法
- 专利标题(英): Method for preparing vertical structure LED using whole optical film system
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申请号: CN200710119474.8申请日: 2007-07-25
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公开(公告)号: CN101355119B公开(公告)日: 2010-08-18
- 发明人: 伊晓燕 , 王良臣 , 王国宏 , 李晋闽
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 汤保平
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00
摘要:
一种采用全光学膜体系的垂直结构发光二极管制作方法,包括:在衬底上依次外延生长N型接触层、有源区和P型接触层;刻蚀,将器件隔离;在P型接触层上制作ITO光学膜;在ITO光学膜上制作光学高反膜,部分区域裸露;在光学高反膜上和裸露的ITO膜区域制作金属膜,构成器件的P电极;将绝缘的衬底去除,裸露出氮化镓N型接触层;在氮化镓N型接触层表面制作ITO导电光学减反膜;对ITO导电光学减反膜进行表面粗化处理;在ITO导电光学减反膜上制作金属电极;在芯片表面沉积介质膜,以进行表面钝化保护;将金属电极区域的介质膜去除,进行压焊封装,完成器件的制作。
公开/授权文献
- CN101355119A 采用全光学膜体系的垂直结构发光二极管制作方法 公开/授权日:2009-01-28
IPC分类: