采用全光学膜体系的垂直结构发光二极管制作方法
摘要:
一种采用全光学膜体系的垂直结构发光二极管制作方法,包括:在衬底上依次外延生长N型接触层、有源区和P型接触层;刻蚀,将器件隔离;在P型接触层上制作ITO光学膜;在ITO光学膜上制作光学高反膜,部分区域裸露;在光学高反膜上和裸露的ITO膜区域制作金属膜,构成器件的P电极;将绝缘的衬底去除,裸露出氮化镓N型接触层;在氮化镓N型接触层表面制作ITO导电光学减反膜;对ITO导电光学减反膜进行表面粗化处理;在ITO导电光学减反膜上制作金属电极;在芯片表面沉积介质膜,以进行表面钝化保护;将金属电极区域的介质膜去除,进行压焊封装,完成器件的制作。
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