一种发红光的掺氧砷化镓多晶薄膜的制备方法
摘要:
本发明涉及一种发红光的掺氧砷化镓多晶薄膜的制备方法,它是以砷化镓、氧化镓、氧化铟为原料,以砷化镓基片为薄膜生长载体,以盐酸、无水乙醇、双氧水、去离子水为清洗剂,以氩气为载气和保护气体,以次氯酸纳、氢氧化钠、磷酸、去离子水为废气回收剂,制备是在管式高温炉中进行的,在石英管内高温区段置放L形石英舟,在L形石英舟左部放置原料粉末,右部斜置砷化镓基片,在800±5℃状态下,在氩气气氛中,原料粉末进行形态转换、气相沉积、薄膜生长,在基片上生成灰黑色掺氧砷化镓多晶薄膜,薄膜为胶粘式颗粒联结而成波浪状,发红光,制备中的有毒气体进行回收,不污染环境,此制备方法工艺流程短、薄膜成形快、产物纯度高,可达99%。
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