发明授权
- 专利标题: 红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术
- 专利标题(英): Induction meltback technology for interconnection indium pole of infrared focal plane detector
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申请号: CN200810201532.6申请日: 2008-10-22
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公开(公告)号: CN101373802B公开(公告)日: 2010-06-02
- 发明人: 张海燕 , 胡晓宁 , 李言谨 , 何力 , 龚海梅 , 张勤耀
- 申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址: 上海市玉田路500号
- 专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 上海市玉田路500号
- 代理机构: 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 郭英
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术,该技术采用金属的在交变电磁场中的感应电流实现铟柱的熔融,在熔融铟柱的同时不加热碲镉汞材料,这既提高了互连强度又避免了碲镉汞芯片因高温而性能退化,很好的解决了焦平面工艺中的铟柱回熔问题。
公开/授权文献
- CN101373802A 红外焦平面探测器互连铟柱感应回熔技术 公开/授权日:2009-02-25
IPC分类: