防护薄膜框架
摘要:
本发明的目的在于提供一种优异的防护薄膜框架,其能防止因为防护薄膜张力或使用处理所造成的框架歪曲,并能防止因为黏贴防护薄膜组件所造成的光罩歪曲。为达成上述目的,在半导体平板印刷所使用的防护薄膜框架中,用弹性系数不同的2种以上的材料接合制成框架。其中,更宜用弹性系数10GPa以下的材料与弹性系数50GPa以上的材料制成框架,或在垂直防护薄膜膜面方向上以多层接合的方式制成防护薄膜框架,或将弹性系数大的材料堆迭在最外层,或用相反的堆迭构造。
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