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探针组合体以及检查装置
Abstract:
本发明提供一种探针组合体及检查装置。该探针组合体减少叶片式探针的偏差,从而提高该叶片式探针与各电极的接触稳定性。该探针组合体支承叶片式探针而使叶片式探针与被检查体的电极电接触。其中,该探针组合体包括块片、定位销、前端侧接触负荷承受部和基端侧接触负荷承受部;上述块片一体地支承多个上述探针;上述定位销分别贯穿于多个上述探针而对各探针进行一体地支承并定位;上述前端侧接触负荷承受部与上述探针的上述被检查体侧、即前端侧嵌合来承受该探针前端侧的触头与上述被检查体的电极接触时的接触负荷;上述基端侧接触负荷承受部与上述探针的基端侧嵌合来承受该探针基端侧的触头与探针基座侧的电极接触时的接触负荷。
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