Invention Publication
CN101430344A 探针组合体以及检查装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 探针组合体以及检查装置
- Patent Title (English): Probe combination and inspection device
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Application No.: CN200810175226.XApplication Date: 2008-11-04
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Publication No.: CN101430344APublication Date: 2009-05-13
- Inventor: 久我智昭 , 奈良冈修治 , 安田贵生
- Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇; 张会华
- Priority: 2007-288389 2007.11.06 JP
- Main IPC: G01R1/073
- IPC: G01R1/073 ; G01R31/00

Abstract:
本发明提供一种探针组合体及检查装置。该探针组合体减少叶片式探针的偏差,从而提高该叶片式探针与各电极的接触稳定性。该探针组合体支承叶片式探针而使叶片式探针与被检查体的电极电接触。其中,该探针组合体包括块片、定位销、前端侧接触负荷承受部和基端侧接触负荷承受部;上述块片一体地支承多个上述探针;上述定位销分别贯穿于多个上述探针而对各探针进行一体地支承并定位;上述前端侧接触负荷承受部与上述探针的上述被检查体侧、即前端侧嵌合来承受该探针前端侧的触头与上述被检查体的电极接触时的接触负荷;上述基端侧接触负荷承受部与上述探针的基端侧嵌合来承受该探针基端侧的触头与探针基座侧的电极接触时的接触负荷。
Public/Granted literature
- CN101430344B 探针组合体以及检查装置 Public/Granted day:2011-08-31
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