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公开(公告)号：CN101271147B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200810085754.6
申请日：2008-03-20
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针单元以及检查装置，无论有无噪声都可保持较高的检查精度。一种探针单元以及检查装置，探针单元具有：探针组装体，其与设于检查对象板表面上的电路电极相接触来传输检查信号；连接电缆部，其通过探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接，上述连接电缆部具有：FPC板，其将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧；驱动用集成电路，其进行伴随着检查的处理；FPC电缆，其传输供检查用的电信号，上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。将从上述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为10Ω以下。
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公开(公告)号：CN102628879A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210012902.8
申请日：2012-01-16
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/073
Abstract: 本发明提供探测装置及其制造方法。其能够防止探测装置的接触电极相对于被检查体的电极发生位置错位。探测装置包括：布线板，其具有挠性；支承体，其用于支承该布线板；间隔维持构件，其被安装于布线板。上述布线板包括：多条布线，其设于该布线板的一个面；多个接触电极，其被设于该布线。上述间隔维持构件与上述布线板相比具有较低的热膨胀系数及较高的刚性，上述间隔维持构件被安装于上述布线板，用于将上述多条布线相互的间隔维持成上述布线板发生了膨胀后的状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101430344B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200810175226.X
申请日：2008-11-04
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针组合体及检查装置。该探针组合体减少叶片式探针的偏差，从而提高该叶片式探针与各电极的接触稳定性。该探针组合体支承叶片式探针而使叶片式探针与被检查体的电极电接触。其中，该探针组合体包括块片、定位销、前端侧接触负荷承受部和基端侧接触负荷承受部；上述块片一体地支承多个上述探针；上述定位销分别贯穿于多个上述探针而对各探针进行一体地支承并定位；上述前端侧接触负荷承受部与上述探针的上述被检查体侧、即前端侧嵌合来承受该探针前端侧的触头与上述被检查体的电极接触时的接触负荷；上述基端侧接触负荷承受部与上述探针的基端侧嵌合来承受该探针基端侧的触头与探针基座侧的电极接触时的接触负荷。
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公开(公告)号：CN101271147A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810085754.6
申请日：2008-03-20
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针单元以及检查装置，无论有无噪声都可保持较高的检查精度。一种探针单元以及检查装置，探针单元具有：探针组装体，其与设于检查对象板表面上的电路电极相接触来传输检查信号；连接电缆部，其通过探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接，上述连接电缆部具有：FPC板，其将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧；驱动用集成电路，其进行伴随着检查的处理；FPC电缆，其传输供检查用的电信号，上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。将从上述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为10Ω以下。
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公开(公告)号：CN101509937B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200910007271.9
申请日：2009-02-12
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种与最佳阻抗特性相匹配，保持高检查精度的探针单元及检查装置。该探针单元包括：探针组装体，具有与检查对象板相接触而传输检查信号的探针；连接电缆部，电连接上述探针侧和外部装置侧；上述连接电缆部具有传输伴随着检查所产生的电信号的FPC电缆，该FPC电缆包括：传输检查信号的多条信号线；在一侧面上形成该信号线的FPC基板；形成在该FPC基板的另侧个面上的接地层；形成该接地层的一部分，并插入到上述FPC基板的一侧面上的多条上述信号线之间的线形的接地线。
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公开(公告)号：CN101509937A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910007271.9
申请日：2009-02-12
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种与最佳阻抗特性相匹配，保持高检查精度的探针单元及检查装置。该探针单元包括：探针组装体，具有与检查对象板相接触而传输检查信号的探针；连接电缆部，电连接上述探针侧和外部装置侧；上述连接电缆部具有传输伴随着检查所产生的电信号的FPC电缆，该FPC电缆包括：传输检查信号的多条信号线；在一侧面上形成该信号线的FPC基板；形成在该FPC基板的另侧个面上的接地层；形成该接地层的一部分，并插入到上述FPC基板的一侧面上的多条上述信号线之间的线形的接地线。
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公开(公告)号：CN101430344A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200810175226.X
申请日：2008-11-04
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种探针组合体及检查装置。该探针组合体减少叶片式探针的偏差，从而提高该叶片式探针与各电极的接触稳定性。该探针组合体支承叶片式探针而使叶片式探针与被检查体的电极电接触。其中，该探针组合体包括块片、定位销、前端侧接触负荷承受部和基端侧接触负荷承受部；上述块片一体地支承多个上述探针；上述定位销分别贯穿于多个上述探针而对各探针进行一体地支承并定位；上述前端侧接触负荷承受部与上述探针的上述被检查体侧、即前端侧嵌合来承受该探针前端侧的触头与上述被检查体的电极接触时的接触负荷；上述基端侧接触负荷承受部与上述探针的基端侧嵌合来承受该探针基端侧的触头与探针基座侧的电极接触时的接触负荷。
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