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发明授权
CN101432628B 用于检查基板的表面的测量装置和测量方法 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 用于检查基板的表面的测量装置和测量方法
  • 专利标题（英）： Measuring device and measuring method for inspecting the surface of a substrate
  • 申请号： CN200780015618.3
    申请日： 2007-11-06
  • 公开(公告)号： CN101432628B
    公开(公告)日： 2012-10-03
  • 发明人: H·克劳斯曼 , K·克拉格勒 , M·纽瑟
  • 申请人： 西门子公司
  • 申请人地址： 德国慕尼黑
  • 专利权人： 西门子公司
  • 当前专利权人： 西门子公司
  • 当前专利权人地址： 德国慕尼黑
  • 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
  • 代理商 曹若; 梁冰
  • 优先权： 102006054088.3 2006.11.16 DE
  • 国际申请： PCT/EP2007/061936 2007.11.06
  • 国际公布： WO2008/058869 DE 2008.07.24
  • 进入国家日期： 2008-10-30
  • 主分类号： G01R1/07
  • IPC分类号： G01R1/07 ;  G01R31/302 ;  G09G3/00
用于检查基板的表面的测量装置和测量方法
摘要：
提出一种用于检查基板(140)的表面(141)的测量装置(100)。测量装置(100)具有保持元件(110)和空气支承的元件(120，220)，该空气支承的元件安装在保持元件(110)上，并且这样构造，使得它可以与要检查的基板(140)的表面(141)一起构成空气支承，并且所述空气支承的元件具有弹性，从而空气支承的元件(120，220)可以匹配表面(141)的不平度。测量装置(110)此外具有至少一个传感器(130，230)，其安装在空气支承的元件(120，220)上，并且设置用于检测基板(140)的表面(141)。由于空气支承的元件(120，220)的弹性，所述至少一个传感器(130，230)即使在要检测的表面(141)具有波浪度的情况下也能够以到表面(141)的预定的测量距离运动。此外描述了一种用于表面检查的测量方法，其中所述的测量装置(100)相对表面(141)移动。
摘要（英）：

The invention relates to a measuring device (100) for inspecting the surface (141) of a substrate (140). The measuring device (100) has a retaining element (110) and an air-mounted element (120, 220), which is fixed to the retaining element (110), the air-mounted element being designed in such a way that an air bearing can be formed together with the surface (141) of the substrate (140) to be inspected and having an elasticity that enables the air-mounted element (120, 220) to be adapted to any irregularities in the surface (141). The measuring device (100) also has at least one sensor (130, 230), which is fixed to the air-mounted element (120, 220) and which is configured to record the surface (141) of the substrate (140). As a result of the flexibility of the air-mounted element (120, 220), the sensor or sensors (130, 230) can be displaced at a constant measuring distance from the surface (141) to be inspected even if said surface (141) undulates. The invention also relates to a measuring method for inspecting surfaces, according to which the measuring device (100) is displaced in relation to the surface (141).

公开/授权文献
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