发明公开
- 专利标题: 蒸发源和具备蒸发源的蒸镀装置
- 专利标题(英): Evaporation source and vapor deposition apparatus provided with it
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申请号: CN200810185280.2申请日: 2005-11-28
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公开(公告)号: CN101445909A公开(公告)日: 2009-06-03
- 发明人: 安宰弘 , 李星昊 , 郑锡宪 , 赵源锡 , 康熙哲
- 申请人: 三星移动显示器株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星移动显示器株式会社
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 陶凤波
- 优先权: 98270/04 2004.11.26 KR; 13298/05 2005.02.17 KR; 14713/05 2005.02.22 KR; 18833/05 2005.03.07 KR
- 分案原申请号: 2005101269355
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24
摘要:
本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置,其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量,从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括:蒸镀物质贮藏部,其放置有蒸镀物质并且局部开口;喷嘴部,其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部;反射板,其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围;壳体,其包围所述蒸镀物质贮藏部包围;加热部,其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外,本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件,所以,提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性,并防止了有机物的泄漏。
公开/授权文献
- CN101445909B 蒸发源和具备蒸发源的蒸镀装置 公开/授权日:2011-06-22