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公开(公告)号：CN1789484B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200510108161.3
申请日：2005-10-09
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明涉及串列形式的薄膜蒸镀系统，提供一种通过固定并支持基片而实现垂直蒸镀、并移送中使微细粒子的影响最小而可以充分确保掩模板平面度的校正系统、垂直型盘移送装置和具有该装置的蒸镀装置。本发明的解决手段为包含：垂直固定基片(10)的基片盘(100)；为了与所述基片盘(100)相校正而垂直固定掩模板(30)的掩模盘(300)；通过联接部联接所述基片盘(100)和掩模盘(300)的校正平板(500)。
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公开(公告)号：CN102332539A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110199594.X
申请日：2011-07-12
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: H01L51/56
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/54 , C23C14/56 , H01L51/56
Abstract: 一种薄膜沉积设备及制造有机发光显示装置的方法，所述薄膜沉积设备可以在沉积工艺期间与基板精确对准。所述设备包括：沉积源；沉积源喷嘴单元，包括布置在第一方向上的多个沉积源喷嘴；以及图案化狭缝片，具有布置在与所述第一方向垂直的第二方向上的多个图案化狭缝，其中在所述基板相对于所述薄膜沉积设备在所述第一方向上移动时执行沉积，所述图案化狭缝片具有彼此隔开的第一对准标记和第二对准标记，所述基板具有彼此隔开的第一对准图案和第二对准图案，所述薄膜沉积设备进一步包括用于给所述第一对准标记和所述第一对准图案照相的第一照相机组件，和用于给所述第二对准标记和所述第二对准图案照相的第二照相机组件。
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公开(公告)号：CN102127748A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110029291.3
申请日：2011-01-11
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C16/04 , C23C16/455 , C23C16/52
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L51/001
Abstract: 本发明公开了一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备可被简单应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高生产率。薄膜沉积设备包括：沉积源，排出沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，被设置成与所述沉积源喷嘴单元相对，所述图案化缝隙片包括沿与第一方向垂直的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基底或者薄膜沉积设备沿第一方向彼此相对移动的同时执行沉积，沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片彼此一体地形成。
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公开(公告)号：CN1941454B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200610144769.6
申请日：2006-09-20
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/5246 , H01L51/5259
Abstract: 本发明公开了一种制造有机发光显示器的方法和装置，其中制造大尺寸透射膜以易于用于大尺寸基底的粘合过程。该装置包括：第一腔室，该第一腔室包括多个第一通孔并具有密封多个第一通孔的第一透射膜，该第一腔室适于将具有有机发光二极管(OLED)的第一基底粘合到具有干燥剂的第二基底；和第二腔室，该第二腔室具有在预定区域中的第二通孔和密封该第二通孔的第二透射膜，该第二腔室适于硬化介于第一和第二基底之间的密封剂，以将该第一基底密封到第二基底上。
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公开(公告)号：CN101445908B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200810185279.X
申请日：2005-11-28
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1800443B
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200510117051.3
申请日：2005-10-31
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L21/68728 , H01L21/68735 , H01L21/68778 , Y10S414/136 , Y10S414/141 , Y10T29/53265
Abstract: 本发明提供一种基片固定盘，为了在真空工程用垂直基片固定盘的平板面上固定和支持所述基片，包含至少一部分以上基片固定单元，并且，通过固定和支持垂直布置的基片，可以进行高精度的校正和更加稳定的蒸镀工艺。基片固定盘(60)及利用该基片固定盘(60)的基片校正系统及其方法，包含被蒸镀蒸镀物的基片(10)、用于容纳所述基片(10)的框架(70)、用于容纳所述框架(70)而构成的盘(60)、用于在所述框架(70)上固定和支持所述基片(10)而构成的至少一个以上基片固定单元(110)。
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公开(公告)号：CN101445909B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200810185280.2
申请日：2005-11-28
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。
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公开(公告)号：CN100582301C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200610078368.5
申请日：2006-05-15
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C16/448
Abstract: 本发明公开了一种催化剂增强的化学汽相淀积(CECVD)设备和淀积方法，其中为防止催化剂丝因热变形导致松垂而向催化剂丝施加张力，并且为防止产生异物而使用辅助气体。该CECVD设备可构造为具有：处理腔、将处理气体导入处理腔的喷头、和提供在处理腔中并分解从喷头导入的处理气体的可拉伸的催化剂丝结构，由催化剂丝结构分解的的气体淀积于基片上，从而使张力施加到催化剂丝以便防止催化剂丝因热变形导致松垂，且使用辅助气体从而防止产生异物，因此消除了基片温度不均匀的发生和膜生长不均匀的发生，并随之提高了催化剂丝的耐久性。
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公开(公告)号：CN100567556C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200510092373.7
申请日：2005-08-29
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/26
Abstract: 一种蒸发源和蒸镀装置，该蒸发源将坩埚和加热部以及喷嘴部配置在一个划分空间，缩小其尺寸；所述蒸镀装置利用所述蒸发源将蒸镀物质蒸镀在基板上。所述蒸发源包括：壳体(110)；内设于所述壳体(110)内的坩埚(120)；内设于所述壳体(110)中，用于加热坩埚(120)而设于其周边的加热部；喷嘴部，经由喷射嘴(140)将从所述坩埚(120)蒸发的蒸镀物质喷射到位于壳体(110)外部的基板(220)上。
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公开(公告)号：CN101445908A
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200810185279.X
申请日：2005-11-28
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。
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