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公开(公告)号：CN102102175A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010601144.4
申请日：2010-12-17
申请人： 三星移动显示器株式会社
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C16/4485 , C23C14/243 , C23C14/26
摘要： 本发明公开了一种线性蒸发源及具有该线性蒸发源的沉积设备。在一个实施例中，线性蒸发源包括：i)熔罐，在其一侧是敞开的，且熔罐被构造为储存沉积材料；ii)多个分隔件，将熔罐的内部空间隔开，其中，每个分隔件在下部中具有至少一个开口。该源还包括：i)喷嘴部分，位于熔罐的敞开侧上并包括多个喷嘴；ii)加热器，构造为加热熔罐；iii)壳体，构造为容纳熔罐、喷嘴部分和加热器。
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公开(公告)号：CN101880865A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010170313.3
申请日：2010-05-04
申请人： 三星移动显示器株式会社
CPC分类号： C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
摘要： 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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公开(公告)号：CN1782120B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200510126935.5
申请日：2005-11-28
申请人： 三星移动显示器株式会社
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。
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公开(公告)号：CN1952206B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200610140238.X
申请日：2006-10-20
申请人： 三星移动显示器株式会社
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/541
摘要： 本发明提供了一种用于沉积薄膜的设备和方法，该设备包括：处理室，具有膜形成部分和沉积防止部分，沉积防止部分在膜形成部分的周边；蒸发源，与处理室流动相通，用于容纳沉积材料；吸热板，形成在处理室的沉积防止部分中，其中，吸热板设置成围绕位于处理室的膜形成部分中的基底。
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公开(公告)号：CN101445909A
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200810185280.2
申请日：2005-11-28
申请人： 三星移动显示器株式会社
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。
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公开(公告)号：CN101445908B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200810185279.X
申请日：2005-11-28
申请人： 三星移动显示器株式会社
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。
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公开(公告)号：CN101880865B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010170313.3
申请日：2010-05-04
申请人： 三星移动显示器株式会社
CPC分类号： C23C14/12 , B05D1/02 , B05D1/60 , B05D3/0493 , C23C14/243 , C23C14/56 , H01L51/0008 , H01L51/56
摘要： 一种用于沉积有机材料的装置及其沉积方法和沉积系统，其中在室中对第一基板执行对准过程的同时对第二基板执行沉积过程，使得在传送和对准过程中浪费的有机材料可以减少，从而最大化材料效率并最小化处理节拍时间。该装置包括：室，其内部被划分成第一基板沉积区域和第二基板沉积区域；有机材料沉积源，被传送到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的区域内，以将有机材料的颗粒喷射到所述第一基板和所述第二基板中的相应基板上；以及第一传送单元，用于使所述有机材料沉积源沿第一方向从所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的一个区域旋转到所述第一基板沉积区域和所述第二基板沉积区域中的另一个区域。
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公开(公告)号：CN1743495B
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN200510096608.X
申请日：2005-08-25
申请人： 三星移动显示器株式会社
摘要： 一种有机物蒸镀装置，以将衬底大致垂直竖起的状态蒸镀有机物，形成有机薄膜，可适用于大型衬底，且可形成均匀厚度的有机薄膜。本发明的有机物蒸镀装置具有：腔，其构成壳体并且使衬底维持在相对于地面成70°～110°的角度；有机物存储部，其由接收向上述衬底上蒸镀的有机物的至少一个有机物存储位置构成；有机物喷嘴部，其喷射向上述衬底上蒸镀的有机物；连接线路，其将上述有机物喷嘴部和有机物存储部连接；运送装置，其可使上述有机物存储部、有机物喷嘴部及连接线中的至少上述有机物喷嘴沿垂直方向移动。
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公开(公告)号：CN1831185B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200510098036.9
申请日：2005-07-01
申请人： 三星移动显示器株式会社
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 一种蒸发源组件及使用该蒸发源组件的蒸镀装置。构成蒸发源组件的外部壳体具有设有导引部且所述导引部的延长线朝向相同位置的遮蔽件(shield)，以规定的角度使构成所述蒸发源组件的蒸发源所具有的喷咀部的通孔倾斜，由此，通过导引从所述各个蒸发源排出的蒸镀物质，使其蒸镀在被蒸镀基板的同一区域，从而形成具有均匀粗糙度且具有均匀厚度的薄膜。
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公开(公告)号：CN101445909B
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200810185280.2
申请日：2005-11-28
申请人： 三星移动显示器株式会社
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明提供一种蒸发源和具备该蒸发源的蒸镀装置，其能通过使用反射板来有效提高喷嘴的热量，从而防止蒸镀物质在喷嘴处凝缩。本发明的蒸发源包括：蒸镀物质贮藏部，其放置有蒸镀物质并且局部开口；喷嘴部，其具有连结在所述蒸镀物质贮藏部的开口的部分上并用于喷射所述蒸镀物质的开口部；反射板，其把所述喷嘴部的至少一部分的角部包围；壳体，其包围所述蒸镀物质贮藏部包围；加热部，其位于所述壳体与所述蒸镀物质贮藏部之间。本发明的蒸镀装置具备所述蒸发源。另外，本发明的有机物蒸发源由于改善所述有机物贮藏部和喷嘴部的材质并在它们的表面上附有防止有机物泄漏部件，所以，提高了喷嘴部和有机物贮藏部的导热性，并防止了有机物的泄漏。
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