- 专利标题: 新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法
- 专利标题(英): Novel compound and method of producing the same, acid generator, resist composition and method of forming resist pattern
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申请号: CN200810185226.8申请日: 2008-12-18
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公开(公告)号: CN101464628A公开(公告)日: 2009-06-24
- 发明人: 羽田英夫 , 内海义之 , 石塚启太 , 松泽贤介 , 金子文武 , 大下京子 , 清水宏明 , 吉井靖博
- 申请人: 东京应化工业株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川县
- 专利权人: 东京应化工业株式会社
- 当前专利权人: 东京应化工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 朱丹
- 优先权: 2007-330891 2007.12.21 JP; 2007-331163 2007.12.21 JP; 2008-056880 2008.03.06 JP
- 主分类号: G03F7/004
- IPC分类号: G03F7/004 ; G03F7/028 ; G03F7/00 ; C07C309/00
摘要:
本发明涉及含有在酸的作用下对碱显影液的溶解性发生改变的基材成分(A)和通过曝光来产生酸的产酸剂成分(B)的抗蚀剂组合物,其特征在于,所述产酸剂成分(B)含有由下述通式(b1-1)表示的化合物形成的产酸剂(B1),RX-Q3-O-Q2-Y1-SO3-Z+…(b1-1);式中,RX是可以具有取代基(但氮原子除外)的烃基;Q2和Q3分别独立地为单键或2价的连接基团;Y1是碳原子数为1~4的亚烷基或氟代亚烷基;Z+是有机阳离子(但通式(w-1)表示的离子除外)。
公开/授权文献
- CN101464628B 新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 公开/授权日:2012-12-26
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