- 专利标题: 半导体基板和电极的形成方法以及太阳能电池的制造方法
- 专利标题(英): Semiconductor substrate, method for forming electrode, and method for manufacturing solar cell
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申请号: CN200780028838.X申请日: 2007-07-12
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公开(公告)号: CN101506992A公开(公告)日: 2009-08-12
- 发明人: 石川直挥 , 大塚宽之 , 渡部武纪 , 生岛聪之 , 植栗豊敬
- 申请人: 信越半导体股份有限公司 , 信越化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 信越半导体股份有限公司,信越化学工业株式会社
- 当前专利权人: 信越半导体股份有限公司,信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 姜燕; 陈晨
- 优先权: 217439/2006 2006.08.09 JP
- 国际申请: PCT/JP2007/063881 2007.07.12
- 国际公布: WO2008/018265 JA 2008.02.14
- 进入国家日期: 2009-02-02
- 主分类号: H01L31/04
- IPC分类号: H01L31/04 ; H01L31/0224 ; H01L21/28 ; H01L21/288
摘要:
一种半导体基板和电极的形成方法以及太阳能电池的制造方法,该半导体基板是至少形成有电极的半导体基板,上述电极是具有二层以上的多层构造,上述多层构造之中,至少与上述半导体基板直接接合的第一电极层是至少含有银与玻璃料,以及含有钛、铋、锆、钒、铌、钽、铬、钼、钨、锰、铁、钴、镍、硅、铝、锗、锡、铅、锌的氧化物中的至少一种来作为添加物;形成于上述第一电极层上的电极层之中,至少与配线接合的最表层的电极层是至少含有银和玻璃料,而未含有上述添加物。借此,于半导体基板上形成一种电极,可减少接触电阻与配线电阻,且具有充分的与半导体基板接着的强度以及通过焊锡而与配线接着的强度。
公开/授权文献
- CN101506992B 半导体基板和电极的形成方法以及太阳能电池的制造方法 公开/授权日:2011-03-23
IPC分类: