晶圆及抛光装置和方法、压电振动器及制造方法和装置
摘要:
本发明涉及晶圆及抛光装置和方法、压电振动器及制造方法和装置,具体而言,提供防止由抛光步骤形成的切落或裂纹的破损的晶圆,和抛光该晶圆的抛光装置和抛光方法,提供了呈大致有角的矩形形状的板形的、用作压电振动器的原材料的晶圆。通过提供曲率的倒角而使该大致有角的形状的所有角部(D1,D2,D3,D4)形成曲面的形状。成曲面的形状的角部(D1,D2,D3,D4)至少包括第一曲面部分和第二曲面部分,它们被以彼此不同或彼此相同的曲率倒角而成。原材料的晶体取向的基准面由第一曲面部分或第二曲面部分确定。
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