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公开(公告)号：CN102624353A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210027796.0
申请日：2012-01-30
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 小林高志
CPC分类号： H03H9/21 , G04C3/047 , G04R20/10 , H03H9/0542 , H03H9/1021
摘要： 本发明的压电振动片(1)具备：并排配置的一对振动臂部(3a、3b)；外侧槽部(51)及内侧槽部(52)，在振动臂部(3a、3b)的两主面上形成，沿着振动臂部(3a、3b)的Y方向(长度方向)延伸；以及基部(4)，连接有一对振动臂部(3a、3b)，其特征在于，在振动臂部(3a、3b)的X方向(宽度方向)并排形成多条槽部(4)。从而提供能够抑制振动泄漏、确保良好的驱动电平特性、且将CI值抑制得较低的压电振动片、使用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。
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公开(公告)号：CN101510767A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910008256.6
申请日：2009-02-16
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 小林高志
IPC分类号： H03H9/02 , H01L41/08 , H03H3/02 , H01L21/304 , H01L41/22
摘要： 本发明涉及晶圆及抛光装置和方法、压电振动器及制造方法和装置，具体而言，提供防止由抛光步骤形成的切落或裂纹的破损的晶圆，和抛光该晶圆的抛光装置和抛光方法，提供了呈大致有角的矩形形状的板形的、用作压电振动器的原材料的晶圆。通过提供曲率的倒角而使该大致有角的形状的所有角部(D1，D2，D3，D4)形成曲面的形状。成曲面的形状的角部(D1，D2，D3，D4)至少包括第一曲面部分和第二曲面部分，它们被以彼此不同或彼此相同的曲率倒角而成。原材料的晶体取向的基准面由第一曲面部分或第二曲面部分确定。
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公开(公告)号：CN102638242A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210040362.4
申请日：2012-02-14
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 小林高志
CPC分类号： H03H3/02 , G04R20/10 , H03H9/21 , H03H2003/026
摘要： 本发明提供一种能够抑制重锤金属膜剥落以抑制频率变动的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。压电振动片(4)包括：在宽度方向上并列配置的一对振动臂部(10、11)；将一对振动臂部(10、11)上的延伸方向的基端一侧连接起来的基部(12)；以及形成在振动臂部(10、11)的外表面上的重锤金属膜(21)，其特征在于，在避开振动臂部(10、11)的长度方向的前端部的回避区域(R)的位置形成重锤金属膜(21)。
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公开(公告)号：CN101510765A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910008254.7
申请日：2009-02-16
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 小林高志
CPC分类号： H03H9/21 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H9/1021 , H03H2003/026 , H03H2003/0442 , Y10T29/42 , Y10T29/49147 , Y10T29/49155 , Y10T29/49798
摘要： 本发明涉及压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置。为了容易、精确和高效地执行频率调节且在不受压电振动片尺寸影响的情况下实现低成本构型及维护性能的提升，提供了一种制造压电振动片的方法，其是一种通过利用晶圆来制造具有压电板、一对激励电极及一对安装电极的方法，该方法包括：外形形成步骤，其在晶圆上形成构架部并形成经由连接部而连接到构架部的多个压电板；电极形成步骤，其将成对的激励电极和成对的安装电极形成至多个压电板上，以及形成经由连接部而分别电连接到成对的安装电极上的多对延伸电极；频率调节步骤，其在成对延伸电极之间施加驱动电压的同时调节压电板频率；以及切割步骤，其使多个压电板分成片段。
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公开(公告)号：CN101964636A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010241190.8
申请日：2010-07-21
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 小林高志
CPC分类号： H03H9/215 , G04R20/10 , H03H3/04 , H03H9/1021 , H03H2003/0492 , Y10T29/42
摘要： 本发明提供无需严格追随曝光位置精度而断线的可能性低且确保稳定动作的可靠度的压电振动片。提供一种压电振动片(1)，其中包括：振动腕部(3、4)；固定振动腕部的基端部的基部(5)；形成在振动腕部的主表面上的沟部(6)；以及使振动腕部振动的激振电极(10、11)，激振电极具有主表面电极部(20)、侧面电极部(21)、和连接电极部(22)，主表面电极部形成为振动腕部的基端部侧的横宽(W1)窄于其它部分的横宽(W2)，以在靠近叉头部(15)的振动腕部的主表面上确保空白区域(S)，连接电极部形成宽幅，以在振动腕部的主表面上利用空白区域接近沟部的开口端一侧。
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公开(公告)号：CN101510764A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910006745.8
申请日：2009-02-13
申请人： 精工电子有限公司
CPC分类号： H03H3/02 , H03H3/04 , H03H9/17 , H03H9/21 , H03H2003/026 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49798 , Y10T29/53265
摘要： 本发明涉及压电振动片及其制造方法、包括其的装置、晶圆及其夹具，具体而言，为了有效地制造高质量的压电振动片，而与晶圆的外部形状的精度无关，提供一种利用晶圆(S)一次制造多个压电振动片的方法，该方法包括：形成两个或更多个通孔(40)并同时利用通孔形成多个压电板(10)的外部形状的步骤，其利用光刻技术刻蚀晶圆并且利用通孔的中心构造参考点；准备用于晶圆的夹具的步骤，该夹具具有数量与通孔的数量相等且从平板部上方突出的插入销，其后在将插入销插入通孔的状态下将晶圆安装在平板部上；在多个压电板的外表面上形成电极的步骤；和进行切割以使多个压电板从晶圆分离成片段的步骤。
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公开(公告)号：CN102377410A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110257719.X
申请日：2011-08-10
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 小林高志
摘要： 本发明提供能确保高驱动电平特性的压电振动片，以及利用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟。其特征在于，沟部(5)的基端侧的宽度比沟部(5)的前端侧的宽度窄，基部(4)具有：装配部(4a)，在其外表面形成有安装压电振动片(1)的装配电极(12、13)；中间部，以位于装配部(4a)与一对振动腕部(3a、3b)之间的方式与装配部(4a)和一对振动腕部(3a、3b)成排连接，在其外表面形成有连接一对激振电极(10、11)与装配电极(12、13)的引出电极(14a、14b)。装配部(4a)的宽度形成为比中间部(4b)的宽度宽，装配部(4a)的侧面与中间部(4b)的侧面，在装配部(4a)与中间部(4b)的阶梯部中，通过相对长度方向倾斜的倾斜面(4c)成排连接。
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公开(公告)号：CN101964637A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010241191.2
申请日：2010-07-21
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 小林高志
CPC分类号： H03H3/04 , G04R20/10 , H03H9/0542 , H03H9/1021 , H03H9/215 , H03H2003/0492 , Y10T29/42
摘要： 本发明提供可极力减小蚀刻残余量的偏差并能使振动泄漏对特性的影响非常小的高质量的压电振动片。提供一种压电振动片(1)，其中包括压电板(2)和激振电极(10、11)，该压电板(2)具有以沿着中心轴(C)延伸的方式形成的振动部(3)和支撑该振动部的基端部的基部(4)，该激振电极(10、11)形成在振动部的外表面上，在被施加电压时使振动部振动，基部包括：形成有装配电极(12、13)的装配部(4a)，以及中间部(4b)，以位于该装配部和振动部之间的方式连接设置于两者上，并形成有连接激振电极和装配电极的引出电极(14)，装配部的横宽大于中间部的横宽，从平面上看时在装配部和中间部的台阶部中，装配部的侧面和中间部的侧面通过相对于中心轴倾斜的倾斜面(4c)连接设置。
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公开(公告)号：CN101515791A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910117912.6
申请日：2009-02-19
申请人： 精工电子有限公司
CPC分类号： H03H3/02 , C30B29/18 , C30B33/08 , H03H9/0542 , H03H9/1021 , H03H9/21 , H03H2003/026 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
摘要： 本发明涉及压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振子、振荡器、电子设备及电波时钟，能够在制造过程中可靠地防止晶片产生损伤、裂纹或破裂并制造多个压电振动片。其中，压电振动片的制造方法，是从晶片制造多个压电振动片的方法，包括：成膜工序，分别在晶片的两面形成金属膜M；图案形成工序，对金属膜除去在整个周边的从晶片外周边进入内侧一定距离H的区域后，图案化成多个压电振动片的外形形状；外形形成工序，以图案化的金属膜为掩模通过湿蚀刻加工有选择地除去晶片，在尺寸减小一定距离的量的晶片上形成多个压电振动片的外形；以及除去工序，除去金属膜。
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公开(公告)号：CN101510766A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910008255.1
申请日：2009-02-16
申请人： 精工电子有限公司
发明人： 小林高志
CPC分类号： H03H9/1021 , H03H3/02 , H03H9/0547 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49147 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
摘要： 本发明涉及压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置。具体而言，提供了一种制造压电振动片的方法，其包括：外形形成步骤，其在晶圆处形成构架部S1并且在该构架部形成有待通过连接部(11a)连接到其上的多个压电板；电极形成步骤，其分别在该多个压电板处形成成对的激励电极和成对的安装电极，并且在一侧形成通过连接部而分别电连接到多个成对的安装电极(15)上的公共电极S2；频率调节步骤，其通过将驱动电压施加到公共电极和另一侧的安装电极(16)之间而调节压电板的频率；以及切割步骤，其使该多个压电板分成片段。
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