发明授权
CN101515121B 显影机
失效 - 权利终止
- 专利标题: 显影机
- 专利标题(英): Developing machine
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申请号: CN200810142415.7申请日: 2008-08-12
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公开(公告)号: CN101515121B公开(公告)日: 2011-08-24
- 发明人: 尚峰 , 余廷义
- 申请人: 深圳深爱半导体有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼
- 专利权人: 深圳深爱半导体有限公司
- 当前专利权人: 深圳深爱半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市福田区八卦三路光纤小区2栋3楼
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 郑小粤
- 主分类号: G03F7/30
- IPC分类号: G03F7/30 ; H01L21/00
摘要:
本发明公开了一种显影机,该显影机上设有控制装置,该控制装置对流入喷嘴的气体进行延时控制;该喷嘴用于喷射显影液或漂洗液其与硅片的距离是大于等于5cm。本发明延时一段时间后停下,在喷液同时,时间继电器动作,控制一电磁阀打开气体,喷液停止后延时关闭气体。同时,喷嘴与硅片的距离要大于等于5cm,不然雾状的液体会留在硅片上,形成杂质。由于时间继电器的延时可调,可以根据程序变化而变化,从而使喷头喷液效果达到最佳。不但投入成本不大,而且解决已有的问题,提高产品的质量及合格率。
公开/授权文献
- CN101515121A 显影机 公开/授权日:2009-08-26
IPC分类: