发明授权
CN101515121B 显影机 失效 - 权利终止

显影机
摘要:
本发明公开了一种显影机,该显影机上设有控制装置,该控制装置对流入喷嘴的气体进行延时控制;该喷嘴用于喷射显影液或漂洗液其与硅片的距离是大于等于5cm。本发明延时一段时间后停下,在喷液同时,时间继电器动作,控制一电磁阀打开气体,喷液停止后延时关闭气体。同时,喷嘴与硅片的距离要大于等于5cm,不然雾状的液体会留在硅片上,形成杂质。由于时间继电器的延时可调,可以根据程序变化而变化,从而使喷头喷液效果达到最佳。不但投入成本不大,而且解决已有的问题,提高产品的质量及合格率。
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