发明授权
- 专利标题： 三氯硅烷制造装置
- 专利标题（英）： Trichlorosilane producing apparatus
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申请号： CN200780042921.2申请日： 2007-10-25
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公开(公告)号： CN101535180B公开(公告)日： 2012-04-25
- 发明人: 生川满敏 , 清水祐司
- 申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社 , 电气化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 三菱麻铁里亚尔株式会社,电气化学工业株式会社
- 当前专利权人： 三菱麻铁里亚尔株式会社,申请人
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 杨楷
- 优先权： 314896/2006 2006.11.21 JP; 268617/2007 2007.10.16 JP
- 国际申请： PCT/JP2007/070805 2007.10.25
- 国际公布： WO2008/062632 JA 2008.05.29
- 进入国家日期： 2009-05-19
- 主分类号： C01B33/107
- IPC分类号： C01B33/107
摘要：
一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，含有四氯化硅和氢的供给气体供给到该反应容器的内部从而生成含有三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体；传热体，填充在该反应容器内，由熔点至少超过1400℃的材料形成，并且具有气体能流通的空隙部；和对该反应容器内的上述传热体进行加热的加热机构。
公开/授权文献
- CN101535180A 三氯硅烷制造装置 公开/授权日：2009-09-16
