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公开(公告)号：CN101535180B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200780042921.2
申请日：2007-10-25
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社 , 电气化学工业株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/10731 , B01J8/025 , B01J8/0285 , B01J12/007 , B01J2208/00415 , B01J2208/00513 , C01B33/10736
Abstract: 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，含有四氯化硅和氢的供给气体供给到该反应容器的内部从而生成含有三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体；传热体，填充在该反应容器内，由熔点至少超过1400℃的材料形成，并且具有气体能流通的空隙部；和对该反应容器内的上述传热体进行加热的加热机构。
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公开(公告)号：CN101535180A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200780042921.2
申请日：2007-10-25
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/10731 , B01J8/025 , B01J8/0285 , B01J12/007 , B01J2208/00415 , B01J2208/00513 , C01B33/10736
Abstract: 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，含有四氯化硅和氢的供给气体供给到该反应容器的内部从而生成含有三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体；传热体，填充在该反应容器内，由熔点至少超过1400℃的材料形成，并且具有气体能流通的空隙部；和对该反应容器内的上述传热体进行加热的加热机构。
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公开(公告)号：CN101421189A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780012705.3
申请日：2007-10-24
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272 , C01B33/10757
Abstract: 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；反应流路具有：供给侧流路，在反应容器的中央部连接在气体供给部上，使供给气体一边在反应容器内折回一边朝向外侧流动；返回流路，连接在供给侧流路的下游端，到达反应容器的中央部；排出侧流路，连接在返回流路的下游端，相邻于反应容器的中央部的供给侧流路而配设，连接在气体排气部上。
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公开(公告)号：CN101489931B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200780027354.3
申请日：2007-10-25
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
Abstract: 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；收纳容器，收纳反应容器及加热机构；气体供给内筒，将供给气体供给到反应容器内；气体排气外筒，大致同轴地配设在气体供给内筒的外侧，在气体供给内筒的外周面与自己的内周面之间形成有反应生成气体的排气流路；冷却筒，通过内侧支承气体排气外筒，在内部形成有使冷媒流通的冷媒路径。
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公开(公告)号：CN101479193B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200780024594.8
申请日：2007-10-26
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/1071
Abstract: 本发明涉及三氯硅烷的制备方法和装置，所述三氯硅烷的制备方法包括：使四氯硅烷和氢在900℃～1900℃下反应、生成含有三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体，将由反应室导出的反应生成气体冷却至300℃～800℃，由此使反应生成气体的冷却速度适当，防止生成四氯硅烷的逆反应和聚合物的副生，在该冷却的反应生成气体和导入到反应室2中的四氯硅烷或氢的至少一方之间进行热交换，进行预热。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101421190A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780012715.7
申请日：2007-10-24
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
Abstract: 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，具有将反应容器的内部加热的加热器部；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器内排出到外部；加热器部配置在反应容器的中央；反应流路配设在加热器部的周围。
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公开(公告)号：CN101489931A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200780027354.3
申请日：2007-10-25
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
Abstract: 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；收纳容器，收纳反应容器及加热机构；气体供给内筒，将供给气体供给到反应容器内；气体排气外筒，大致同轴地配设在气体供给内筒的外侧，在气体供给内筒的外周面与自己的内周面之间形成有反应生成气体的排气流路；冷却筒，通过内侧支承气体排气外筒，在内部形成有使冷媒流通的冷媒路径。
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公开(公告)号：CN101479193A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200780024594.8
申请日：2007-10-26
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/1071
Abstract: 本发明涉及三氯硅烷的制备方法和装置，所述三氯硅烷的制备方法包括：使四氯硅烷和氢在900℃～1900℃下反应、生成含有三氯硅烷和氯化氢的反应生成气体，将由反应室导出的反应生成气体冷却至300℃～800℃，由此使反应生成气体的冷却速度适当，防止生成四氯硅烷的逆反应和聚合物的副生，在该冷却的反应生成气体和导入到反应室2中的四氯硅烷或氢的至少一方之间进行热交换，进行预热。
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公开(公告)号：CN101421188A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780012696.8
申请日：2007-10-23
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
Abstract: 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；在反应容器的内部形成有反应流路，所述反应流路是使被大致同心配置的内径不同的多个反应筒壁分隔的多个小空间通过交替形成在这些反应筒壁的下部与上部上的流通用贯通部从内侧开始依次成为连通状态而形成的；在该反应流路上连接着气体供给部及气体排气部。
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公开(公告)号：CN101421189B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200780012705.3
申请日：2007-10-24
Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC: C01B33/107
CPC classification number: C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272 , C01B33/10757
Abstract: 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；反应流路具有：供给侧流路，在反应容器的中央部连接在气体供给部上，使供给气体一边在反应容器内折回一边朝向外侧流动；返回流路，连接在供给侧流路的下游端，到达反应容器的中央部；排出侧流路，连接在返回流路的下游端，相邻于反应容器的中央部的供给侧流路而配设，连接在气体排气部上。
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