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发明授权
CN101542717B 形成具有微流体润滑剂通道的微机械装置的方法 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 形成具有微流体润滑剂通道的微机械装置的方法
  • 专利标题（英）： Method of forming a micromechanical device with microfluidic lubricant channel
  • 申请号： CN200780044181.6
    申请日： 2007-09-27
  • 公开(公告)号： CN101542717B
    公开(公告)日： 2011-05-25
  • 发明人: 陈东敏 , 威廉·斯宾塞·沃利 , 陈黄南
  • 申请人： 明锐有限公司
  • 申请人地址： 美国加利福尼亚州
  • 专利权人： 明锐有限公司
  • 当前专利权人： 明锐有限公司
  • 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
  • 代理机构： 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
  • 代理商 王安武; 南霆
  • 优先权： 60/847,831 2006.09.27 US; 11/862,178 2007.09.26 US
  • 国际申请： PCT/US2007/079723 2007.09.27
  • 国际公布： WO2008/105938 EN 2008.09.04
  • 进入国家日期： 2009-05-27
  • 主分类号： H01L23/02
  • IPC分类号： H01L23/02
形成具有微流体润滑剂通道的微机械装置的方法
摘要：
本发明涉一种微机械器件组件，包括：包封在处理区域内的微机械器件；以及润滑剂通道，其被形成在所述处理区域的内壁上并与所述处理区域流体连通。润滑剂经由毛细力注入到所述润滑剂通道中，并且通过所述润滑剂对所述润滑剂通道的内表面的表面张力保持在所述润滑剂通道内。容纳润滑剂的润滑剂通道提供了新鲜润滑剂的现用供应，防止了在布置在处理区域中的微机械器件的相互作用的元件之间发生粘连。
摘要（英）：

A micromechanical device assembly includes a micromechanical device enclosed within a processing region and a lubricant channel formed through an interior wall of the processing region and in fluid communication with the processing region. Lubricant is injected into the lubricant channel via capillary forces and held therein via surface tension of the lubricant against the internal surfaces of the lubrication channel. The lubricant channel containing the lubricant provides a ready supply of fresh lubricant to prevent stiction from occurring between interacting components of the micromechanical device disposed within the processing region.

公开/授权文献
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