公开(公告)号：CN101542717B

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200780044181.6

申请日：2007-09-27

申请人： 明锐有限公司

发明人： 陈东敏 ,  威廉·斯宾塞·沃利 ,  陈黄南

IPC分类号： H01L23/02

CPC分类号： B81C1/0096 ,  B81B3/0005 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/112 ,  G02B26/0833

摘要： 本发明涉一种微机械器件组件，包括：包封在处理区域内的微机械器件；以及润滑剂通道，其被形成在所述处理区域的内壁上并与所述处理区域流体连通。润滑剂经由毛细力注入到所述润滑剂通道中，并且通过所述润滑剂对所述润滑剂通道的内表面的表面张力保持在所述润滑剂通道内。容纳润滑剂的润滑剂通道提供了新鲜润滑剂的现用供应，防止了在布置在处理区域中的微机械器件的相互作用的元件之间发生粘连。

公开(公告)号：CN101542717A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200780044181.6

申请日：2007-09-27

申请人： 明锐有限公司

发明人： 陈东敏 ,  威廉·斯宾塞·沃利 ,  陈黄南

IPC分类号： H01L23/02

CPC分类号： B81C1/0096 ,  B81B3/0005 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/112 ,  G02B26/0833

摘要： 本发明涉及一种微机械器件组件，包括：包封在处理区域内的微机械器件；以及润滑剂通道，其被形成在所述处理区域的内壁上并与所述处理区域流体连通。润滑剂经由毛细力注入到所述润滑剂通道中，并且通过所述润滑剂对所述润滑剂通道的内表面的表面张力保持在所述润滑剂通道内。容纳润滑剂的润滑剂通道提供了新鲜润滑剂的现用供应，防止了在布置在处理区域中的微机械器件的相互作用的元件之间发生粘连。