发明公开
CN101560639A 有机淀积设备及利用该设备淀积有机物质的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 有机淀积设备及利用该设备淀积有机物质的方法
- 专利标题(英): Organic deposition apparatus and method of depositing organic substance using the same
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申请号: CN200810180037.1申请日: 2008-11-20
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公开(公告)号: CN101560639A公开(公告)日: 2009-10-21
- 发明人: 安泳雄 , 郑基泽 , 池钟烈 , 金相烈
- 申请人: 爱德牌工程有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 爱德牌工程有限公司
- 当前专利权人: 爱德牌工程有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 陈英俊; 李瑞海
- 优先权: 10-2008-0034224 2008.04.14 KR
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/06 ; C23C14/54 ; H01L51/56
摘要:
本发明提供了一种有机材料淀积系统和方法。有机材料淀积设备可包括内部形成有处理空间的腔室和供给源装置,该供给源装置生成有机源并通过设于所述处理空间中的喷淋头将所述有机源注入并扩散进所述处理空间中。所述衬底由载台装置支撑,该载台装置在所述处理空间中向上和向下移动该衬底以调整所述衬底与所述喷淋头之间的距离。抽取口设于所述处理空间的上部的上端,提供将气流经所述处理空间导向所述载台装置的真空排气路径。这使得厚度均匀的有机薄膜能够利用构造较为简单的设备进行淀积。
公开/授权文献
- CN101560639B 有机淀积设备及利用该设备淀积有机物质的方法 公开/授权日:2013-10-02
IPC分类: