公开(公告)号：CN103276359A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310201342.5

申请日：2008-11-20

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 安泳雄 ,  郑基泽 ,  池钟烈 ,  金相烈

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/54 ,  H01L51/56

CPC分类号： C23C14/50 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12

摘要： 本发明提供了在平板显示器面板的衬底上淀积有机物质的方法。有机材料淀积设备可包括内部形成有处理空间的腔室和供给源装置，该供给源装置生成有机源并通过设于所述处理空间中的喷淋头将所述有机源注入并扩散进所述处理空间中。所述衬底由载台装置支撑，该载台装置在所述处理空间中向上和向下移动该衬底以调整所述衬底与所述喷淋头之间的距离。抽取口设于所述处理空间的上部的上端，提供将气流经所述处理空间导向所述载台装置的真空排气路径。这使得厚度均匀的有机薄膜能够利用构造较为简单的设备进行淀积。

公开(公告)号：CN101560639B

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN200810180037.1

申请日：2008-11-20

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 安泳雄 ,  郑基泽 ,  池钟烈 ,  金相烈

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/06 ,  C23C14/54 ,  H01L51/56

CPC分类号： C23C14/50 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12

摘要： 本发明提供了一种有机材料淀积系统和方法。有机材料淀积设备可包括内部形成有处理空间的腔室和供给源装置，该供给源装置生成有机源并通过设于所述处理空间中的喷淋头将所述有机源注入并扩散进所述处理空间中。所述衬底由载台装置支撑，该载台装置在所述处理空间中向上和向下移动该衬底以调整所述衬底与所述喷淋头之间的距离。抽取口设于所述处理空间的上部的上端，提供将气流经所述处理空间导向所述载台装置的真空排气路径。这使得厚度均匀的有机薄膜能够利用构造较为简单的设备进行淀积。

公开(公告)号：CN101560639A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200810180037.1

申请日：2008-11-20

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 安泳雄 ,  郑基泽 ,  池钟烈 ,  金相烈

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/06 ,  C23C14/54 ,  H01L51/56

CPC分类号： C23C14/50 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12

摘要： 本发明提供了一种有机材料淀积系统和方法。有机材料淀积设备可包括内部形成有处理空间的腔室和供给源装置，该供给源装置生成有机源并通过设于所述处理空间中的喷淋头将所述有机源注入并扩散进所述处理空间中。所述衬底由载台装置支撑，该载台装置在所述处理空间中向上和向下移动该衬底以调整所述衬底与所述喷淋头之间的距离。抽取口设于所述处理空间的上部的上端，提供将气流经所述处理空间导向所述载台装置的真空排气路径。这使得厚度均匀的有机薄膜能够利用构造较为简单的设备进行淀积。