公开(公告)号：CN103276359A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310201342.5

申请日：2008-11-20

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 安泳雄 ,  郑基泽 ,  池钟烈 ,  金相烈

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/54 ,  H01L51/56

CPC分类号： C23C14/50 ,  C23C14/042 ,  C23C14/12

摘要： 本发明提供了在平板显示器面板的衬底上淀积有机物质的方法。有机材料淀积设备可包括内部形成有处理空间的腔室和供给源装置，该供给源装置生成有机源并通过设于所述处理空间中的喷淋头将所述有机源注入并扩散进所述处理空间中。所述衬底由载台装置支撑，该载台装置在所述处理空间中向上和向下移动该衬底以调整所述衬底与所述喷淋头之间的距离。抽取口设于所述处理空间的上部的上端，提供将气流经所述处理空间导向所述载台装置的真空排气路径。这使得厚度均匀的有机薄膜能够利用构造较为简单的设备进行淀积。

公开(公告)号：CN101995674B

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN200910163331.6

申请日：2009-08-13

申请人： 爱德牌工程有限公司 ,  电子人-实验室有限公司

发明人： 全仁铎

IPC分类号： G02F1/13 ,  G01N21/958

摘要： 本发明公开一种用于LCD玻璃的宏观检查设备，其中玻璃保持器在其两侧利用一对平行铰接式连接单元来支撑，以保护LCD玻璃免受由于驱动宏观检测设备而产生的振动，由于平行铰接式连接单元，通过单个电极来实现玻璃保持器的X轴运动、Z轴运动、以及倾斜。宏观检测设备包括LCD玻璃保持器；一对平行铰接式连接单元，其用于支撑玻璃保持器的侧表面；转动单元，其用于转动一对连接单元；行进轴，其用于引导检测设备向左和向右的直线运动；以及控制器，其用于控制LCD玻璃保持器的位置。

公开(公告)号：CN1988753B

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN200610170533.X

申请日：2006-12-21

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  黄寅旭 ,  金薰

IPC分类号： H05H1/48 ,  H05H1/34

摘要： 本发明提供一种用于在大气压力下产生等离子体并供应所述等离子体的装置，该装置包括：壳体，气体导入所述壳体内；以及等离子体发生单元，所述等离子体发生单元包括设置在所述壳体内的上电极、以及设置在所述上电极之下的网状的下电极，其中，所述下电极通过使线形条交叉并使所述线形条之间具有规则的间隙而形成。根据本发明的网状下电极较容易制造。所述网状下电极使得可以调节等离子体所经过的开口的尺寸，从而在基板上均匀地提供等离子体。另外，使得微粒和残余气体不能附到所述基板的表面或附到所述装置的内部。

公开(公告)号：CN101093793B

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200710138191.8

申请日：2005-09-30

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曺生贤 ,  安贤焕 ,  孙石民 ,  安成一

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L51/56 ,  C23C14/22 ,  G02F1/133 ,  G09F9/00 ,  H01J9/00

摘要： 在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开/闭操作。

公开(公告)号：CN101714503A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910224518.2

申请日：2007-10-25

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李仁宅

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/68742 ,  H01L21/67259 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/139

摘要： 提供了一种用于将基板引入处理室的系统和方法。半导体或平板显示器的制造设备的台面上是否存在基板可以通过用于加载和卸载基板抬升销来确定，从而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂状态或错误加载状态可以被检测。闸门阀的开闭也可以被确定，并且可以在闸门阀关闭时防止将基板引入处理室。

公开(公告)号：CN100595885C

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200810084545.X

申请日：2006-02-05

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  孙亨圭

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67 ,  C23C16/44 ,  C23F4/00 ,  H05H1/00 ,  H01J37/32 ,  B01J3/03

摘要： 本发明公开了一种等离子加工设备，其防止了空气在一观察口中产生旋涡，所述观察口用于对处于真空状态的加工室的内部进行观察。所述设备包括：多个孔，其形成在加工室的相对壁上平行于加工室内的基片的位置处，使得通过所述孔对加工室内部的基片进行观察；一个位于每个孔的外壁上的观察口；以及一个盖板，其位于加工室的内壁上，同时位于与相关的观察口隔开的每个孔的内壁上。所述盖板具有多个贯通的、彼此以预定间隔隔开的开门。

公开(公告)号：CN100592492C

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200810085709.0

申请日：2006-05-09

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  金春植 ,  李昌根 ,  金炯寿 ,  李祯彬 ,  黄荣周 ,  孙亨圭 ,  李升昱 ,  尹炳五 ,  任相俊 ,  金龙泰

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/00

摘要： 本发明提供一种起模针模块，为了防止工艺气体在工艺过程中通过起模针孔渗入，引发异常放电的现象，该起模针模块具备起模针，该起模针紧贴着位于下部电极的起模针孔。

公开(公告)号：CN100550293C

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200710147293.6

申请日：2006-02-05

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  孙亨圭 ,  李祯彬 ,  金敬勋 ,  金炯寿 ,  韩明宇

IPC分类号： H01L21/00 ,  B01J3/00

摘要： 在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

公开(公告)号：CN100539012C

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200710138453.0

申请日：2005-02-25

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 李荣钟 ,  崔浚泳 ,  曹生贤 ,  尹炳五 ,  金敬勋 ,  郑洪基

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  G02F1/1333 ,  H01J9/00 ,  G09F9/00

摘要： 一种平板显示器(FPD)制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。

公开(公告)号：CN100533219C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200710145295.1

申请日：2007-08-21

申请人： 爱德牌工程有限公司

发明人： 沈锡希

IPC分类号： G02F1/1333 ,  B25H1/00

CPC分类号： G02F1/1341 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/53174 ,  Y10T29/53191

摘要： 本发明提供了一种用于附着平面显示器的基板的设备。所述设备包括：固定框架；上室，固定于框架的上部，并且第一基板附着于该上室；下室，设置于上室下方，以便可升高，并且第二基板附着于该下室；提升装置，在控制上室与下室之间的间隙的同时提升下室；以及位置控制台，介于下室与提升装置之间，并且调节下室的位置。