发明授权
CN101568796B 膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统
- 专利标题(英): Film thickness measuring method, apparatus thereof, and manufacturing system for thin-film device
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申请号: CN200780047607.3申请日: 2007-10-31
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公开(公告)号: CN101568796B公开(公告)日: 2013-03-27
- 发明人: 坂井智嗣 , 津村阳一郎 , 饭田政巳 , 川添浩平
- 申请人: 三菱重工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 三菱重工业株式会社
- 当前专利权人: 三菱重工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 高培培; 车文
- 优先权: 039595/2007 2007.02.20 JP
- 国际申请: PCT/JP2007/071180 2007.10.31
- 国际公布: WO2008/114471 JA 2008.09.25
- 进入国家日期: 2009-06-22
- 主分类号: G01B11/06
- IPC分类号: G01B11/06 ; H01L31/04
摘要:
一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统,其目的在于减轻作业员的负担,并且提高制造效率。通过线型照明器(3),对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光,并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光,对检测出的反射光的色评价值进行计测,使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性,求出与计测的色评价值对应的膜厚。
公开/授权文献
- CN101568796A 膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统 公开/授权日:2009-10-28