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公开(公告)号：CN102216596A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980145925.2
申请日：2009-12-08
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： F02D41/0025 , F02D19/0623 , F02D19/0634 , F02D19/0649 , F02D19/0657 , F02D41/22 , F02D2200/0611 , Y02T10/36 , Y02T10/40
摘要： 本发明提供一种柴油发动机燃料健全性控制系统，具备：密度计测仪(11)，实时地计测柴油发动机(D/E)的燃料(F)中的密度；MCR计测仪(12)，实时地计测柴油发动机(D/E)的燃料(F)中的残碳量(MCR：micro carbon residue)；和控制装置(CPU)(13)，当求得燃料(F)中的密度及残碳量(MCR)的值后的结果在预先求得的密度和MCR之间的特性映射的健全性范围以外时，变更柴油发动机运转模式。
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公开(公告)号：CN102105991A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200980128810.2
申请日：2009-10-02
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/03921 , H01L31/077 , H01L31/1804 , H01L31/182 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种尽可能防止电流经由中间接触层分离槽泄漏的情况的光电转换装置的制造方法。该方法包括：制膜以非结晶硅为主成分的顶层(91)的工序；在顶层(91)上制膜进行电连接及光学连接的中间接触层(93)的工序；照射脉冲激光，除去中间接触层(93)，并形成到达顶层(91)的中间接触层分离槽(14)而将中间接触层(93)分离的工序；在中间接触层(93)上及中间接触层分离槽(14)内制膜进行电连接及光学连接且以微结晶硅为主成分的底层(92)的工序。中间接触层分离槽(14)在顶层(91)的i层内形成终端。
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公开(公告)号：CN101568796B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200780047607.3
申请日：2007-10-31
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01B11/06 , G01B11/0625 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统，其目的在于减轻作业员的负担，并且提高制造效率。通过线型照明器(3)，对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光，并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光，对检测出的反射光的色评价值进行计测，使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性，求出与计测的色评价值对应的膜厚。
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公开(公告)号：CN102227817A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200980147736.9
申请日：2009-08-25
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/076 , B23K26/0006 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0676 , B23K26/083 , B23K26/359 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2103/172 , B23K2103/50 , B23K2103/56 , H01L31/0463 , H01L31/056 , Y02E10/52 , Y02E10/548
摘要： 提供一种能够将加工槽的槽深度控制成希望值的光电转换装置的制造方法、光电转换装置的制造装置及光电转换装置。一种光电转换装置(10)的制造方法，具有对构成光电转换装置(10)的中间接触层分离槽(15)照射皮秒激光，并使皮秒激光相对于中间接触层分离槽(15)进行相对移动而沿规定的扫描方向形成加工槽(15)的槽形成工序，其中，槽形成工序在与的射束直径相当的照射区域内形成沿一方向并列排列的干涉条纹，并以将干涉条纹沿扫描方向连接的方式使皮秒激光进行相对移动。
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公开(公告)号：CN102105993A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200980129037.1
申请日：2009-10-02
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/1804 , H01L31/03921 , H01L31/077 , H01L31/182 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种尽可能防止电流经由中间接触层分离槽从中间接触层泄漏的光电转换装置的制造方法。该方法包括：制膜以非结晶硅为主成分的顶层(91)的工序；在顶层(91)上制膜对该顶层进行电连接及光学连接的中间接触层(93)的工序；照射脉冲激光，除去中间接触层(93)，并形成直至顶层(91)的中间接触层分离槽(14)而分离中间接触层(93)的工序；在中间接触层(93)上及中间接触层分离槽(14)内制膜对其进行电连接及光学连接且以微结晶硅为主成分的底层(92)的工序。作为分离中间接触层(93)的脉冲激光器，使用脉冲宽度为10ps以上750ps以下的脉冲激光器。
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公开(公告)号：CN104704674B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201380053202.6
申请日：2013-12-05
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： H01M10/486 , G01K7/22 , G01K13/00 , G01R31/3606 , G01R31/3644 , G01R31/3696 , H01M2/305
摘要： 本发明提供一种电池状态监视装置及具备该电池状态监视装置的电池模块。本发明的电池状态监视装置(3)具备：基板(100)，形成有供电池(2)的电极端子(75)插通的端子插通孔(111B)；固定件(141B)，由导热材料制成，设置于端子插通孔(111B)的周围，在端子插通孔(111B)中插通有电极端子(75)的状态下，与电极端子(75)相接而安装于电极端子(75)；及温度测量件(151)，固定于基板(100)，经由固定件(141B)测量电极端子(75)的温度。
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公开(公告)号：CN102165282B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN200980138478.8
申请日：2009-07-02
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N2021/8928
摘要： 本发明目的在于能够降低薄膜的基板面内的膜厚变动的影响，实现计测精度的提高。包括：对在璃基板上形成有薄膜的被检查基板(W)从该玻璃基板侧照射单波长的光的光源；以受光轴相对于从光源射出的照明光的光轴以预定的倾斜角度交叉的方式配置，对透过被检查基板(W)的扩散透过光进行受光的受光元件；和基于由受光元件接受的光的强度求出薄膜的雾度率的计算机(7)。计算机(7)具有将雾度率与扩散透过光的光强度建立关联而成的雾度率特性，利用该雾度率特性和由上述受光元件接受的光强度求出雾度率。
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公开(公告)号：CN102105993B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200980129037.1
申请日：2009-10-02
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/1804 , H01L31/03921 , H01L31/077 , H01L31/182 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/546 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 本发明提供一种尽可能防止电流经由中间接触层分离槽从中间接触层泄漏的光电转换装置的制造方法。该方法包括：制膜以非结晶硅为主成分的顶层(91)的工序；在顶层(91)上制膜对该顶层进行电连接及光学连接的中间接触层(93)的工序；照射脉冲激光，除去中间接触层(93)，并形成直至顶层(91)的中间接触层分离槽(14)而分离中间接触层(93)的工序；在中间接触层(93)上及中间接触层分离槽(14)内制膜对其进行电连接及光学连接且以微结晶硅为主成分的底层(92)的工序。作为分离中间接触层(93)的脉冲激光器，使用脉冲宽度为10ps以上750ps以下的脉冲激光器。
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公开(公告)号：CN101568797B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200780047754.0
申请日：2007-10-31
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： G01B11/06
CPC分类号： G01B11/0633 , G01B11/0683 , G01B11/303
摘要： 本发明以降低膜厚的计测误差为目的。对将膜质状态及膜厚不同的薄膜形成于基板上的多个样本照射不同波长的照明光，分别计测与照射各波长的照明光时的透射光的光量相关的评价值，基于该计测结果，对每个波长作成表示各膜质状态中膜厚和评价值的相关关系的膜厚特性，在各膜厚特性中选择由膜质状态引起的评价值的计测差在规定范围内的波长。
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公开(公告)号：CN107407722A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201580076971.7
申请日：2015-11-19
申请人： 三菱重工业株式会社
摘要： 具备：激光光源(11)；送光侧透镜(12)，其使从激光光源(11)发出的激光(L)成形为点状；扫描器(13)，其使成形为点状的激光(L)在计测对象区域(A)的水平方向(X)以及垂直方向(Y)上一边扫描一边照射；受光侧透镜(16)，其接收从计测对象区域(A)反射的反射光(R)；受光侧光学系统(17)，其使利用受光侧透镜(16)接收到的反射光(R)分别在水平方向(X)以及垂直方向(Y)上聚光；受光元件(18)，其接收利用受光侧光学系统(17)聚光后的反射光(R)；信息生成部(21)，其基于受光元件(18)输出的接收信号，生成计测对象区域(A)的三维信息。
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