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公开(公告)号:CN102472801A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080037003.2
申请日:2010-02-24
申请人: 三菱重工业株式会社
IPC分类号: G01R31/36
CPC分类号: G01R31/361 , G01R31/3613 , G01R31/362
摘要: 基于二次电池的估计开放电压而输出第一估计充电率,基于将二次电池的实测电流以及其误差上限值以规定周期进行了积分后的结果和二次电池的电池容量,输出第二估计充电率,并基于将实测电流以及其误差下限值以规定周期进行了积分后的结果和电池容量,输出第三估计充电率,并基于将实测电流以规定周期进行了积分后的结果和电池容量而输出第四估计充电率。在规定周期的期间内将上述第四估计充电率作为充电率来输出,在规定周期的终点,当第一估计充电率为第二估计充电率和第三估计充电率之间的估计充电率的值时,将第一估计充电率设为充电率,当第一估计充电率为第二估计充电率以上的值时,将第二估计充电率设为充电率,当第一估计充电率为第三估计充电率以下的值时,将第三估计充电率设为充电率。
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公开(公告)号:CN101568796B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN200780047607.3
申请日:2007-10-31
申请人: 三菱重工业株式会社
CPC分类号: G01B11/06 , G01B11/0625 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要: 一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统,其目的在于减轻作业员的负担,并且提高制造效率。通过线型照明器(3),对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光,并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光,对检测出的反射光的色评价值进行计测,使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性,求出与计测的色评价值对应的膜厚。
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公开(公告)号:CN102575903A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201080041027.5
申请日:2010-09-17
申请人: 三菱重工业株式会社 , 北海道电力株式会社 , 东北电力株式会社 , 东京电力株式会社 , 中部电力株式会社 , 北陆电力株式会社 , 关西电力株式会社 , 中国电力株式会社 , 四国电力株式会社 , 九州电力株式会社 , 电源开发株式会社 , 财团法人电力中央研究所 , 洁净煤电力研究与开发有限公司
CPC分类号: F23J1/00 , C10J3/485 , C10J3/72 , C10J3/723 , C10J2300/093 , F23J1/08 , F23J2900/01009 , F23N5/082 , F23N5/16 , F27D3/14 , F27D21/02
摘要: 本发明提供一种煤气化炉的炉渣监控装置及煤气化炉。该煤气化炉的炉渣监控装置(100)具有:对熔融的炉渣流出的渣口(3)进行观测的渣口照相机(11)、对自渣口(3)流出的炉渣向冷却水(5)的水面(5H)落下的状况进行观测的水面照相机(12)、对炉渣落到水面(5H)的声音进行检测的落下声音传感器(13)、基于利用渣口照相机(11)观测到的渣口(3)的开口面积和利用水面照相机观测到的炉渣的落下线条及所述炉渣的落下位置判定炉渣的凝固附着部位的处理装置(20)。
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公开(公告)号:CN102472801B
公开(公告)日:2014-11-05
申请号:CN201080037003.2
申请日:2010-02-24
申请人: 三菱重工业株式会社
IPC分类号: G01R31/36
CPC分类号: G01R31/361 , G01R31/3613 , G01R31/362
摘要: 基于二次电池的估计开放电压而输出第一估计充电率,基于将二次电池的实测电流以及其误差上限值进行了积分后的结果和二次电池的电池容量,输出第二估计充电率,并基于将实测电流以及其误差下限值进行了积分后的结果和电池容量,输出第三估计充电率,并基于将实测电流进行了积分后的结果和电池容量而输出第四估计充电率。在规定周期的期间内将上述第四估计充电率作为充电率来输出。基于所述第一至第四估计充电率决定所述充电率。
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公开(公告)号:CN101568821B
公开(公告)日:2012-12-26
申请号:CN200780047527.8
申请日:2007-10-31
申请人: 三菱重工业株式会社
CPC分类号: G01N21/8914 , G01N21/65 , G01N21/8422 , H01L22/12
摘要: 一种膜质评价方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统,以在使作业员的负担减轻的同时使制造效率提升为目的。对薄膜硅系设备所使用的结晶质硅膜照射光,检测由结晶质硅膜反射的反射光,对检测出的反射光的辉度的参数进行计测,并根据该辉度的参数是否在预先设定的适当范围内来进行该结晶质硅膜的膜质评价。
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公开(公告)号:CN101568821A
公开(公告)日:2009-10-28
申请号:CN200780047527.8
申请日:2007-10-31
申请人: 三菱重工业株式会社
CPC分类号: G01N21/8914 , G01N21/65 , G01N21/8422 , H01L22/12
摘要: 一种膜质评价方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统,以在使作业员的负担减轻的同时使制造效率提升为目的。对薄膜硅系设备所使用的结晶质硅膜照射光,检测由结晶质硅膜反射的反射光,对检测出的反射光的辉度的参数进行计测,并根据该辉度的参数是否在预先设定的适当范围内来进行该结晶质硅膜的膜质评价。
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公开(公告)号:CN101568797A
公开(公告)日:2009-10-28
申请号:CN200780047754.0
申请日:2007-10-31
申请人: 三菱重工业株式会社
IPC分类号: G01B11/06
CPC分类号: G01B11/0633 , G01B11/0683 , G01B11/303
摘要: 本发明以降低膜厚的计测误差为目的。对将膜质状态及膜厚不同的薄膜形成于基板上的多个样本照射不同波长的照明光,分别计测与照射各波长的照明光时的透射光的光量相关的评价值,基于该计测结果,对每个波长作成表示各膜质状态中膜厚和评价值的相关关系的膜厚特性,在各膜厚特性中选择由膜质状态引起的评价值的计测差在规定范围内的波长。
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公开(公告)号:CN101568796A
公开(公告)日:2009-10-28
申请号:CN200780047607.3
申请日:2007-10-31
申请人: 三菱重工业株式会社
CPC分类号: G01B11/06 , G01B11/0625 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要: 一种膜厚计测方法及其装置、以及薄膜设备的制造系统,其目的在于减轻作业员的负担,并且提高制造效率。通过线型照明器(3),对在基板(W)上成膜的透明导电膜或透明光学膜照射直线照明光,并由摄像机检测由透明导电膜或透明光学膜反射的直线反射光,对检测出的反射光的色评价值进行计测,使用将色评价值和膜厚建立关联的膜厚特性,求出与计测的色评价值对应的膜厚。
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公开(公告)号:CN102449495B
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN200980159607.1
申请日:2009-06-03
IPC分类号: G01R31/36
CPC分类号: G01R31/3624 , G01R31/361 , G01R31/3651 , G01R31/3662 , H01M10/425 , H01M10/441 , H01M10/482
摘要: 电池充电率计算装置(100)包括:SOCV计算单元(5),输出基于电压数据算出的第1充电率;SOCI计算单元(6),输出基于电流数据算出的第2充电率;估计阻抗电压计算单元(12),基于有效充电率和电流数据计算阻抗电压值;稳定判定单元(7),判定所述阻抗电压值在以规定的阈值区分的范围内稳定了规定时间以上的情况,并输出该判定结果;以及SOC决定单元(20),基于所述判定结果,在所述阻抗电压值稳定了的情况下,将所述第1充电率作为所述有效充电率输出,在除此之外的情况下,将所述第2充电率作为有效充电率输出。
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公开(公告)号:CN102575903B
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201080041027.5
申请日:2010-09-17
申请人: 三菱重工业株式会社 , 北海道电力株式会社 , 东北电力株式会社 , 东京电力株式会社 , 中部电力株式会社 , 北陆电力株式会社 , 关西电力株式会社 , 中国电力株式会社 , 四国电力株式会社 , 九州电力株式会社 , 电源开发株式会社 , 财团法人电力中央研究所 , 常磐共同火力株式会社
CPC分类号: F23J1/00 , C10J3/485 , C10J3/72 , C10J3/723 , C10J2300/093 , F23J1/08 , F23J2900/01009 , F23N5/082 , F23N5/16 , F27D3/14 , F27D21/02
摘要: 本发明提供一种煤气化炉的炉渣监控装置及煤气化炉。该煤气化炉的炉渣监控装置(100)具有:对熔融的炉渣流出的渣口(3)进行观测的渣口照相机(11)、对自渣口(3)流出的炉渣向冷却水(5)的水面(5H)落下的状况进行观测的水面照相机(12)、对炉渣落到水面(5H)的声音进行检测的落下声音传感器(13)、基于利用渣口照相机(11)观测到的渣口(3)的开口面积和利用水面照相机观测到的炉渣的落下线条及所述炉渣的落下位置判定炉渣的凝固附着部位的处理装置(20)。
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