层叠体、基板的制造方法、基板及半导体装置
Abstract:
本发明提供一种层叠体(10),其具有树脂层(2)和金属层(3),该树脂层(2)内置有用纤维基材构成的芯部(1),该金属层(3)在上述树脂层的一个表面上接合,其中,上述纤维基材的厚度在25μm以下,上述金属层具有对应于在上述树脂层上形成的导通孔的开口部(31)。本发明还提供一种基板的制造方法,其包括用激光(9)照射上述的层叠体在上述树脂层上形成导通孔(23)的工序、在上述导通孔形成后从上述层叠体除去上述金属层的工序。本发明还提供一种基板(100),其通过上述制造方法制得。本发明还提供一种半导体装置(12),其是在上述的基板上搭载半导体元件(121)而成。
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